Quando si parla di deposizione chimica da vapore (CVD), esistono due tipi principali: CVD al plasma e CVD termica.
Questi metodi differiscono in modo significativo per il modo in cui avviano le reazioni chimiche e per le temperature che richiedono per il processo di deposizione.
2 differenze chiave spiegate
1. Meccanismo di innesco delle reazioni chimiche
CVD termica
Nella CVD termica, le reazioni chimiche necessarie per la deposizione di film sottili sono innescate dal calore.
Il substrato e i gas reagenti vengono riscaldati a temperature molto elevate, in genere intorno ai 1000°C.
Questo calore elevato aiuta a scomporre i gas reagenti e a depositare il materiale desiderato sul substrato.
CVD al plasma (PECVD)
La CVD al plasma, in particolare la CVD potenziata al plasma (PECVD), utilizza il plasma per avviare le reazioni chimiche.
Il plasma viene creato applicando un campo elettrico che eccita i gas reagenti e li fa reagire a temperature molto più basse rispetto alla CVD termica.
Questo metodo prevede la ionizzazione dei gas, che poi reagiscono per formare il film desiderato sul substrato.
2. Requisiti di temperatura per la deposizione
CVD termica
La CVD termica richiede temperature molto elevate, in genere intorno ai 1000°C.
Queste temperature elevate sono necessarie per attivare le reazioni chimiche.
Tuttavia, ciò può limitare i tipi di materiali che possono essere depositati perché alcuni substrati o materiali possono essere danneggiati o degradati a temperature così elevate.
CVD al plasma (PECVD)
La PECVD può funzionare a temperature molto più basse, spesso tra i 300°C e i 350°C.
Questo requisito di temperatura inferiore è importante per depositare materiali sensibili alle alte temperature e per i substrati che non possono sopportare le alte temperature richieste dalla CVD termica.
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