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915MHz MPCVD Diamond Machine Sistema di deposizione chimica da vapore al plasma a microonde Reattore

MPCVD

915MHz MPCVD Diamond Machine Sistema di deposizione chimica da vapore al plasma a microonde Reattore

Numero articolo : MP-CVD-101

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Introduzione

La macchina per diamanti MPCVD è una tecnologia rivoluzionaria che utilizza la deposizione chimica da vapore al plasma a microonde (MPCVD) per sintetizzare diamanti. Questo metodo avanzato consente una crescita cristallina più rapida, una maggiore capacità produttiva e una migliore qualità del diamante rispetto alle tecniche tradizionali.

La macchina per diamanti MPCVD consente un controllo preciso della potenza delle microonde e della temperatura di reazione, eliminando i problemi riscontrati in altri metodi CVD. Ottimizzando il design della camera di reazione e i parametri di processo, ottiene una scarica al plasma stabile, cruciale per la produzione di diamanti monocristallini di alta qualità e di grandi dimensioni.

La versatilità della macchina per diamanti MPCVD si estende alla sua capacità di creare diamanti in vari colori, tra cui bianco, giallo, rosa e blu. Inoltre, offre una produzione personalizzabile per soddisfare le specifiche esigenze del mercato.

Applicazione

Le macchine per diamanti MPCVD sono ampiamente utilizzate in vari settori grazie alle proprietà uniche dei diamanti, come la loro durezza, rigidità, elevata conducibilità termica, bassa espansione termica, resistenza alle radiazioni e inerzia chimica. Ecco alcune delle principali aree di applicazione delle macchine per diamanti MPCVD:

  • Pietre preziose di diamante: MPCVD è l'attrezzatura principale utilizzata per la crescita di pietre preziose di diamante di alta qualità e di grandi dimensioni.
  • Film di diamante: MPCVD viene utilizzato per la crescita di film di diamante per una varietà di applicazioni, inclusi substrati di diamante di grandi dimensioni per l'industria dei semiconduttori e strumenti di taglio o perforazione di diamante.
  • Applicazioni industriali: MPCVD viene utilizzato per produrre rivestimenti di diamante per utensili da taglio, punte da trapano e altre applicazioni industriali in cui sono richieste estrema durezza e durata.
  • Applicazioni biomediche: MPCVD viene utilizzato per produrre rivestimenti di diamante per impianti medici, come protesi articolari e impianti dentali, dove la biocompatibilità e la durata sono essenziali.
  • Optoelettronica: MPCVD viene utilizzato per produrre finestre e substrati di diamante per dispositivi optoelettronici, come laser ad alta potenza e rivelatori, dove sono fondamentali l'elevata conducibilità termica e la bassa espansione termica.

Dettagli e parti

Dettagli MPCVD

Dettagli MPCVD

Principio

La deposizione chimica da vapore al plasma a microonde (MPCVD) è un processo di deposizione chimica da vapore che utilizza una sorgente a microonde continua per generare e mantenere un plasma altamente reattivo composto da sostanze chimiche reagenti e catalizzatori essenziali. MPCVD è ampiamente impiegato per depositare strati di diamante: metano e idrogeno vengono introdotti e utilizzati per coltivare nuovo diamante su un substrato seminato con diamante.

Caratteristiche

La macchina per diamanti MPCVD presenta diversi vantaggi a beneficio dei clienti:

  • Velocità di crescita cristallina più rapida: 10-100 volte più veloce dei metodi tradizionali, con conseguente aumento dell'efficienza produttiva.
  • Maggiore capacità produttiva: consente una maggiore capacità produttiva in un singolo lotto, permettendo la sintesi di diamanti su larga scala.
  • Prestazioni di qualità superiore: produce diamanti con maggiore durezza e tenacità rispetto ai diamanti naturali, garantendo durata e longevità.
  • Colori più diversificati: supporta la produzione di diamanti in una gamma di colori, tra cui bianco, giallo, rosa e blu, per soddisfare le diverse esigenze del mercato.
  • Maggiore purezza del diamante: produce diamanti con una purezza superiore al diamante naturale di tipo II, garantendo eccezionali proprietà ottiche e idoneità per varie applicazioni.
  • Personalizzazione multi-stile: offre design personalizzabili per soddisfare specifici requisiti di mercato, fornendo soluzioni su misura per diversi settori.

Specifiche tecniche

Sistema a microonde (in base all'alimentatore opzionale)

  • Frequenza operativa: 915±15 MHz
  • Potenza di uscita: 3-75 kW regolabile in continuo
  • Portata acqua di raffreddamento: 120/min
  • Coefficiente di onda stazionaria del sistema: VSWR≤1.5
  • Perdite di microonde: <2 mw/cm2

Sistema di vuoto e camera di reazione

  • Tasso di perdita <5×10-9 Pa.m3/s
  • Pressione limite inferiore a 0,7 Pa (questa macchina è dotata di vacuometro Pirani importato)
  • L'aumento di pressione nella cavità non deve superare i 50 Pa dopo 12 ore di mantenimento della pressione.
  • Modalità operativa della camera di reazione: modalità TM021 o TM023
  • Tipo di cavità: cavità cilindrica raffreddata, può supportare potenze fino a 75 KW, alta purezza, tenuta ad anello di pietra.
  • Metodo di ingresso: ingresso con ugello superiore.
  • Finestra di misurazione della temperatura di osservazione: 8 fori di osservazione, distribuiti uniformemente orizzontalmente.
  • Porta di campionamento: porta di campionamento sollevabile inferiore

Sistema di supporto del campione

  • Diametro del palco del campione ≥200 mm, area di utilizzo effettivo monocristallino ≥130 mm, area di utilizzo effettivo policristallino ≥200 mm. Piattaforma del substrato con struttura a sandwich raffreddata ad acqua, movimento verticale su e giù.

Sistema di gas

  • Pannello gas saldato interamente in metallo, 5-7 linee di gas
  • Tutti i circuiti dell'aria interni dell'apparecchiatura utilizzano saldature o connettori VCR.

Raffreddamento del sistema

  • Raffreddamento ad acqua a 3 vie, monitoraggio in tempo reale di temperatura e flusso.
  • Portata acqua di raffreddamento del sistema 120 L/min, pressione acqua di raffreddamento <4 KG, temperatura acqua in ingresso 20-25.

Metodo di misurazione della temperatura

  • Termometro a infrarossi esterno, intervallo di temperatura 300-1400 M

Elenco delle parti chiave dell'attrezzatura SL901A

numero di serie Nome modulo Osservazioni
1 Alimentatore a microonde Magnetron domestico standard: Yingjie Electric / Distinguere alimentatore domestico a stato solido: Watson (+30.000) Magnetron importato: MKS/ pastorale (+100.000)
2 Guida d'onda, tre pin, convertitore di modo, risonatore superiore Autoprodotto
3 Camera di reazione sottovuoto (camera superiore, camera inferiore, connettori) Autoprodotto
4 Termometri a infrarossi, componenti di spostamento ottico, staffe Termometri a infrarossi, componenti di spostamento ottico, staffe Fuji Gold Siemens + Schneider
5 Componenti di movimento del tavolo di raffreddamento ad acqua (cilindri, pezzi, ecc.)
6 Vacuometro a film sottile ceramico, vacuometro Pirani Inficon
7 Componenti valvola sottovuoto (valvola a saracinesca per vuoto spinto, valvola pneumatica di precisione*2, valvola differenziale di carica del vuoto elettromagnetica) Fujikin + Zhongke + Himat
8 Pompa per vuoto e raccordi per tubi di collegamento, T, soffietto KF25*2, adattatore Pompa: Flyover 16L
9 Anello di tenuta per microonde in metallo*2; anello di tenuta sottovuoto in metallo*1; Lastra di quarzo Quarzo: Quarzo ad alta purezza di grado semiconduttore Shanghai Feilihua
10 Componenti acqua circolante (giunti, blocchi di deviazione, rilevatori di flusso) Giapponese SMC/CKD
11 Parte pneumatica (filtro CKD, elettrovalvola multiposizione Airtac, raccordi e adattatori)
12 Connettore gas, tubo gas EP, connettore VCR, filtro 0,0023μm *1, filtro 10μm*2 Fujikin
13 Cassa macchina, tavolo in acciaio inossidabile, ruote universali, piedini, viti di fissaggio staffa, ecc. lavorazione personalizzata
14 Flussometro gas*6 (incluso uno con controllo di pressione) Standard sette stelle, opzionale Fuji Gold (+34.000) / Alicat (42.000)
15 Lavorazione pannello gas (5 vie gas, filtro*5, valvola pneumatica*5, valvola manuale*6, saldatura tubazioni) Fuji Gold
16 Controllo automatico PLC Siemens + Schneider
17 Tavolo in molibdeno

Vantaggi

  • Velocità di crescita cristallina più rapida: da 10 a 100 volte più veloce dei metodi tradizionali
  • Maggiore capacità produttiva: maggiore capacità produttiva in un singolo lotto
  • Prestazioni di qualità superiore: maggiore durezza e tenacità rispetto ai diamanti naturali
  • Colori più diversificati: bianco, giallo, rosa, blu, ecc.
  • Maggiore purezza del diamante: più puro del diamante naturale di tipo
  • La personalizzazione multi-stile può essere personalizzata in base alle diverse esigenze del mercato

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FAQ

Che Cos'è L'Mpcvd?

MPCVD è l'acronimo di Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition ed è un processo di deposito di film sottili su una superficie. Utilizza una camera a vuoto, un generatore di microonde e un sistema di erogazione di gas per creare un plasma composto da sostanze chimiche che reagiscono e dai catalizzatori necessari. L'MPCVD è molto utilizzato nella rete ANFF per depositare strati di diamante utilizzando metano e idrogeno per far crescere nuovo diamante su un substrato con seme di diamante. Si tratta di una tecnologia promettente per la produzione di diamanti di grandi dimensioni a basso costo e di alta qualità ed è ampiamente utilizzata nell'industria dei semiconduttori e del taglio dei diamanti.

Che Cos'è La Macchina Mpcvd?

La macchina MPCVD (Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition) è un'apparecchiatura di laboratorio utilizzata per la produzione di film di diamante di alta qualità. Utilizza un gas contenente carbonio e un plasma a microonde per creare una sfera di plasma sopra il substrato di diamante, che lo riscalda a una temperatura specifica. La sfera di plasma non entra in contatto con la parete della cavità, rendendo il processo di crescita del diamante privo di impurità e migliorando la qualità del diamante. Il sistema MPCVD è composto da una camera a vuoto, un generatore di microonde e un sistema di erogazione del gas che controlla il flusso di gas nella camera.

Quali Sono I Vantaggi Dell'Mpcvd?

L'MPCVD presenta diversi vantaggi rispetto ad altri metodi di produzione dei diamanti, come una maggiore purezza, un minore consumo energetico e la possibilità di produrre diamanti più grandi.

I Diamanti CVD Sono Veri O Falsi?

I diamanti CVD sono diamanti veri e non falsi. Vengono coltivati in laboratorio attraverso un processo chiamato Chemical Vapor Deposition (CVD). A differenza dei diamanti naturali, che vengono estratti dal sottosuolo, i diamanti CVD vengono creati in laboratorio con tecnologie avanzate. Questi diamanti sono composti al 100% da carbonio e rappresentano la forma più pura di diamante, nota come diamante di tipo IIa. Hanno le stesse proprietà ottiche, termiche, fisiche e chimiche dei diamanti naturali. L'unica differenza è che i diamanti CVD vengono creati in laboratorio e non estratti dalla terra.
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