MPCVD
Macchina diamantata MPCVD a 915 MHz
Numero articolo : MP-CVD-101
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MPCVD è l'acronimo di Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition. È un processo di deposizione di vapore chimico che utilizza una sorgente continua di microonde per creare e mantenere un plasma altamente reattivo composto da sostanze chimiche reagenti e dai catalizzatori necessari. Il processo viene utilizzato per depositare film sottili di diamante sulla superficie di un substrato.
Il sistema MPCVD è costituito da una camera a vuoto in cui avviene il processo di deposizione, da un generatore di microonde e da un sistema di erogazione del gas. Il generatore di microonde, tipicamente un magnetron o un klystron, genera microonde nell'intervallo di 2,45 GHz, che vengono accoppiate alla camera da vuoto attraverso una finestra di quarzo. Il sistema di erogazione del gas, dotato di controllori di flusso di massa (MFC), controlla il flusso di gas nella camera da vuoto.
Applicazione
MPCVD è l'acronimo di Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition. È un metodo per la produzione di film di diamante di alta qualità in laboratorio utilizzando gas contenenti carbonio e plasma a microonde. Utilizza una sorgente continua di microonde per generare e sostenere un plasma altamente reattivo composto da sostanze chimiche di reazione e dai catalizzatori necessari. È comunemente utilizzato nelle reti ANFF per depositare strati di diamante. Il metano e l'idrogeno vengono introdotti come precursori di gas per la crescita di nuovo diamante su un substrato di semi di diamante. Inoltre, l'apparecchiatura KINTEK utilizzata nell'MPCVD può introdurre droganti nella struttura di carbonio durante il processo di crescita. Questi includono droganti come il boro, che crea diamante superconduttore, e i vacui di azoto, che creano interessanti proprietà fotoluminescenti che potrebbero essere utilizzate nei sistemi di informazione quantistica.
Dettagli e parti
Specifiche tecniche
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Sistema a microonde (in base all'alimentazione opzionale) |
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Sistema di vuoto e camera di reazione |
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Sistema di supporto del campione |
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Sistema del gas |
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Raffreddamento del sistema |
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Metodo di misurazione della temperatura |
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SL901A Elenco dei componenti chiave dell'apparecchiatura
| Numero di serie | Nome del modulo | Osservazione |
|---|---|---|
| 1 | Alimentazione a microonde | Magnetron domestico standard: Yingjie Electric / Alimentazione distinta Sorgente a stato solido domestica: Watson (+30.000) Magnetron importato: MKS/Pastorale (+100.000) |
| 2 | Guida d'onda, tre pin, convertitore di modalità, risonatore superiore | Autocostruito |
| 3 | Camera di reazione sotto vuoto (camera superiore, camera inferiore, connettori) | Autocostruito |
| 4 | Termometri a infrarossi, componenti ottici di spostamento, staffe | Termometri a infrarossi, componenti ottici di spostamento, staffe Fuji Gold Siemens + Schneider |
| 5 | Raffreddamento ad acqua dei componenti di movimento del tavolo (cilindri, pezzi, ecc.) | |
| 6 | Vacuometro a film sottile in ceramica, vacuometro Pirani | Inficon |
| 7 | Componenti per valvole a vuoto (valvola a saracinesca ad altissimo vuoto, valvola pneumatica di precisione*2, valvola differenziale a carica elettromagnetica a vuoto) | Fujikin + Zhongke + Himat |
| 8 | Pompa per vuoto e raccordi per tubi di collegamento, tee, soffietto KF25*2, adattatore | Pompa: Flyover 16L |
| 9 | Anello di tenuta a microonde in metallo*2; anello di tenuta a vuoto in metallo*1; piastra di quarzo | Quarzo: Shanghai FeilihuaSemiconductor Grade High Purity Quartz (quarzo ad alta purezza) |
| 10 | Componenti per l'acqua di circolazione (giunti, blocchi deviatori, rilevatori di flusso) | Giapponese SMC/CKD |
| 11 | Parte pneumatica (filtro CKD, elettrovalvola airtac a più vie, raccordi e adattatori) | |
| 12 | Connettore gas, tubo gas EP, connettore VCR, filtro 0,0023μm *1, filtro 10μm*2 | Fujikin |
| 13 | Involucro della macchina, tavolo in acciaio inox, ruote universali, piedini, viti di fissaggio delle staffe, ecc. | lavorazione personalizzata |
| 14 | Misuratore di portata del gas*6 (incluso un controllo di pressione) | Standard a sette stelle, opzionale Fuji Gold ( +34.000 ) / Alicat (42.000) |
| 15 | Lavorazione della piastra del gas (gas a 5 vie, filtro*5, valvola pneumatica*5, valvola manuale*6, saldatura della tubazione) | Fuji Gold |
| 16 | Controllo automatico PLC | Siemens + Schneider |
| 17 | Tavolo del molibdeno | |
Vantaggi
- Il metodo MPCVD è in grado di regolare in modo fluido e continuo la potenza delle microonde e di controllare in modo stabile la temperatura di reazione, evitando così problemi quali il distacco del seme dal substrato a causa dell'arco elettrico e l'interruzione della fiamma, che possono verificarsi con altri metodi come il metodo CVD DC-PJ.
- Regolando la struttura della camera di reazione, controllando la potenza e la pressione delle microonde e creando un plasma di scarica stabile ad ampia superficie, il metodo MPCVD può produrre diamanti monocristallini di alta qualità e di grandi dimensioni. Rispetto ad altri metodi CVD, questo lo rende il metodo di sintesi del diamante più promettente per le applicazioni industriali.
- Consente di utilizzare una varietà di gas per soddisfare le diverse esigenze industriali e di evitare la contaminazione del diamante da parte del filo caldo. I diamanti prodotti con il metodo MPCVD hanno una purezza superiore a quella dei diamanti prodotti con il metodo HPHT e il processo di produzione consuma meno energia.
- Il metodo MPCVD facilita la produzione di diamanti più grandi.
FAQ
Che Cos'è L'Mpcvd?
Che Cos'è La Macchina Mpcvd?
Quali Sono I Vantaggi Dell'Mpcvd?
I Diamanti CVD Sono Veri O Falsi?
4.8
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5
I'm marvelled by the MPCVD machine's ability to produce high-purity diamonds with minimal energy consumption.
4.9
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The MPCVD machine stands out with its large-area stable discharge plasma, which enables the production of high-quality, large-sized single crystal diamonds.
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4.8
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