MPCVD
Apparecchiatura per macchine HFCVD per rivestimento di nano-diamante per matrici di trafilatura
Numero articolo : MP-CVD-100
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Applicazione
Il principio di funzionamento della deposizione chimica da fase vapore di diamante HFCVD è: mescolare un'atmosfera contenente carbonio con idrogeno soprassaturo, attivarla in un certo modo e quindi passarla attraverso una certa composizione atmosferica, energia di attivazione, temperatura del substrato e distanza tra il substrato e la fonte di attivazione, ecc. In queste condizioni, un film di diamante viene depositato sulla superficie inferiore. Si ritiene generalmente che la nucleazione e la crescita dei film di diamante possano essere suddivise in tre fasi:
- Gas contenente carbonio e gas radon si decompongono in atomi di carbonio, idrogeno e altri gruppi liberi attivi a una certa temperatura. Si combinano con la matrice per formare prima uno strato di transizione di carburo molto sottile.
- Gli atomi di carbonio depositano nuclei di diamante sullo strato di transizione formato sul substrato.
- Il nucleo di cristallo di diamante formato cresce in un micro-elemento di diamante in un ambiente adatto, e poi cresce in un film di diamante.
Dettagli e Parti
Specifiche tecniche
| Composizione tecnica HFCVD | ||
| Parametri tecnici | Composizione dell'attrezzatura | Configurazione del sistema |
| Campana a vuoto: diametro 500 mm, altezza 550 mm, camera in acciaio inossidabile SUS304; isolamento interno in lamiera di acciaio inossidabile, altezza di sollevamento 350 mm; | Un set di corpo principale della camera a vuoto (campana a vuoto) (struttura di raffreddamento ad acqua incamiciata) | Corpo principale della camera a vuoto (campana a vuoto); la cavità è realizzata in acciaio inossidabile 304 di alta qualità; campana a vuoto verticale: la camicia di raffreddamento ad acqua è installata sulla periferia generale della campana a vuoto. La parete interna della campana a vuoto è isolata con lamiera di acciaio inossidabile e la campana a vuoto è fissata lateralmente. Posizionamento preciso e stabile; Finestra di osservazione: disposta orizzontalmente al centro della camera a vuoto, finestra di osservazione da 200 mm, raffreddamento ad acqua, deflettore, configurazione laterale e superiore con angolo di smusso di 45 gradi, finestra di osservazione da 50° (osserva lo stesso punto della finestra di osservazione orizzontale e della piattaforma di supporto del campione); le due finestre di osservazione mantengono la posizione e le dimensioni esistenti. Il fondo della campana a vuoto è 20 mm più alto del piano del banco, raffreddamento predisposto; i fori riservati sul piano, come valvole grandi, valvole di sfiato, misurazione della pressione dell'aria, valvole bypass, ecc., sono sigillati con rete metallica e riservati per l'installazione di interfacce per elettrodi; |
| Tavolo dell'attrezzatura: L1550* L900*H1100mm | Un set di dispositivo per tavolo di trascinamento del campione (adotta azionamento a doppio asse) | Dispositivo porta-campione: porta-campione in acciaio inossidabile (saldatura raffreddata ad acqua) dispositivo a 6 posizioni; può essere regolato separatamente, solo regolazione su e giù, il campo di regolazione su e giù è di 25 mm, e lo scuotimento laterale richiesto deve essere inferiore al 3% durante la salita o discesa (cioè, lo scuotimento laterale di una salita o discesa di 1 mm deve essere inferiore a 0,03 mm), e il palco del campione non ruota durante la salita o discesa. |
| Grado di vuoto finale: 2,0×10-1 Pa; | Un set di sistema a vuoto | Sistema a vuoto: Configurazione del sistema a vuoto: pompa meccanica + valvola a vuoto + valvola di spurgo fisico + tubo di scarico principale + bypass; (fornito dal fornitore della pompa a vuoto), la valvola a vuoto utilizza una valvola pneumatica; Misurazione del sistema a vuoto: Pressione di membrana. |
| Tasso di aumento della pressione: ≤5 Pa/h; | Due canali di sistema di alimentazione gas con flussometro | Sistema di alimentazione gas: il flussometro è configurato dalla Parte B, aspirazione a due vie, la portata è controllata dal flussometro, dopo l'unione delle due vie, entra nella camera a vuoto dall'alto, e l'interno del tubo di aspirazione è di 50 mm |
| Movimento del tavolo del campione: campo di movimento su e giù ± 25 m; è richiesto un rapporto di scuotimento laterale durante il movimento su e giù del ± 3%; | Un set di dispositivo elettrodo (2 canali) | Dispositivo elettrodo: la direzione longitudinale dei quattro fori degli elettrodi è parallela alla direzione longitudinale della piattaforma di supporto, e la direzione longitudinale è rivolta verso la finestra di osservazione principale con un diametro di 200 mm. |
| Pressione di esercizio: utilizzare un manometro a membrana, campo di misurazione: 0 ~ 10 kPa; pressione costante di esercizio a 1 kPa ~ 5 kPa, la variazione del valore di pressione costante è più o meno 0,1 kPa; | Un set di sistema di acqua di raffreddamento | Sistema di acqua di raffreddamento: la campana a vuoto, gli elettrodi e la piastra di base sono tutti dotati di tubazioni di raffreddamento ad acqua circolante e sono dotati di un dispositivo di allarme per flusso d'acqua insufficiente 3.7: sistema di controllo. Interruttori, strumenti, apparecchiature e alimentazione per il sollevamento della campana, lo sfiato, la pompa a vuoto, la linea principale, il bypass, l'allarme, il flusso, la pressione dell'aria, ecc. sono posizionati sul lato del supporto e sono controllati da un touch screen da 14 pollici; l'attrezzatura dispone di un programma di controllo completamente automatico senza intervento manuale e può memorizzare dati e richiamare dati |
| Posizione di aspirazione aria: aspirazione aria nella parte superiore della campana a vuoto e la posizione della porta di scarico si trova direttamente sotto il supporto del campione; | Sistema di controllo | |
| Sistema di controllo: controller PLC + touch screen da 10 pollici | Un set di sistema di controllo automatico della pressione (valvola di controllo della pressione originale importata dalla Germania) | |
| Sistema di gonfiaggio: flussometro a 2 canali, campo di flusso: 0-2000sccm e 0-200sccm; valvola pneumatica | Manometro a resistenza | |
| 3.1.10 Pompa a vuoto: pompa a vuoto D16C | ||
Vantaggi
La matrice di trafilatura con rivestimento composito di nano-diamante utilizza carburo cementato (WC-Co) come substrato e utilizza il metodo di deposizione chimica da fase vapore (in breve, metodo CVD) per rivestire il diamante convenzionale e il rivestimento composito di nano-diamante sulla superficie del foro interno dello stampo. E un prodotto nuovo di zecca ottenuto dopo la rettifica e la lucidatura del rivestimento. Il rivestimento composito di nano-diamante applicato sulla superficie del foro interno non solo presenta le caratteristiche di forte adesione e resistenza all'usura del rivestimento di diamante convenzionale, ma offre anche i vantaggi di una superficie piatta e liscia del rivestimento di nano-diamante, un basso coefficiente di attrito e una facile rettifica e lucidatura. La tecnologia di rivestimento non solo risolve il problema tecnico dell'adesione del rivestimento, ma supera anche il collo di bottiglia che la superficie del rivestimento di diamante non è facile da lucidare, e rimuove gli ostacoli all'industrializzazione del film di diamante CVD.
|
Indicatori tecnici |
Matrice per trafilatura tradizionale |
Matrice per trafilatura con nano-diamante |
|
Dimensione dei grani della superficie del rivestimento |
nessuno |
20~80 nm |
|
Contenuto di diamante del rivestimento |
nessuno |
≥99% |
|
Spessore del rivestimento di diamante |
nessuno |
10 ~ 15 mm |
|
Rugosità superficiale |
Ra≤0,1 mm |
Classe A: Ra≤0,1 mm Classe B: Ra≤0,05 mm |
|
Intervallo del diametro del foro interno della matrice di trafilatura rivestita |
Ф3 ~ Ф70 mm |
Ф3 ~ Ф70 mm |
|
Durata di servizio |
La durata dipende dalle condizioni di lavoro |
6-10 volte più lunga |
|
Coefficiente di attrito superficiale |
0,8 |
0,1 |
- Per il parallelismo e la rettilineità della piattaforma di sollevamento dello stampo dell'attrezzatura, la nostra azienda ha prodotto appositamente maschere speciali. Il metodo di sollevamento a doppio asse è sufficiente per consentire alle due estremità di sollevarsi e abbassarsi di circa ±2 fili, in modo da poter realizzare stampi più piccoli.
- Per le maschere dell'attrezzatura, la nostra azienda integra la posizione di ciascuna azienda sulle maschere, mirando alle maschere e al processo dello stampo. Buone maschere e bloccaggio, stabili e affidabili, alta precisione, facili da usare.
- Per la valvola di intercettazione dell'attrezzatura, altri produttori utilizzano valvole a farfalla, che non possono essere regolate linearmente (cioè, il gioco aumenta rapidamente non appena viene aperta). La nostra azienda la progetta secondo il principio della valvola di intercettazione e del controllo stabile della pressione, in modo che il gioco di intercettazione possa essere regolato linearmente per ottenere un controllo stabile della pressione;
- Il sistema di controllo completamente automatico controlla automaticamente la pressione in base ad algoritmi informatici; può ridurre la casualità dell'operatore e rendere il processo più riservato. Risparmia manodopera e la coerenza della qualità dello stampo di specifiche uguali è più ideale;
- Per la stabilità della campana a vuoto sollevabile, la nostra azienda utilizza cuscinetti autolubrificanti, che rendono la rotazione più flessibile e priva di inceppamenti. Processo di base, il rivestimento di diamante può essere realizzato secondo il processo di rivestimento di diamante di ciascun cliente.
Avvertenze
La sicurezza dell'operatore è la questione più importante! Si prega di utilizzare l'apparecchiatura con cautele. Lavorare con gas infiammabili, esplosivi o tossici è molto complicato pericoloso, gli operatori devono prendere tutte le precauzioni necessarie prima di avviare il attrezzatura. Lavorare con pressione positiva all'interno dei reattori o delle camere lo è pericoloso, l'operatore deve rispettare rigorosamente le procedure di sicurezza. Extra è necessario prestare attenzione anche quando si opera con materiali reattivi all'aria, soprattutto sotto vuoto. Una perdita può far entrare aria nell'apparecchio e causare a si verifichi una reazione violenta.
Progettato per te
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