Prodotti Apparecchiature termiche MPCVD Macchina diamantata MPCVD con risonatore a campana per il laboratorio e la crescita di diamanti
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Macchina diamantata MPCVD con risonatore a campana per il laboratorio e la crescita di diamanti

MPCVD

Macchina diamantata MPCVD con risonatore a campana per il laboratorio e la crescita di diamanti

Numero articolo : KTMP315

Il prezzo varia in base a specifiche e personalizzazioni


Potenza delle microonde
Frequenza microonde 2450±15MHZ
Potenza di uscita
1~10 KW regolabile in continuo
Perdita di microonde
≤2MW/cm2
Interfaccia guida d'onda in uscita
WR340, 430 con flangia standard FD-340, 430
Supporto del campione
Diametro del tavolo portacampioni≥70 mm, area di utilizzo effettiva≥64 mm
ISO & CE icon

Spedizione:

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MPCVD significa Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition. Produce film di diamante di qualità in laboratorio utilizzando gas di carbonio e plasma a microonde.

Sistema MPCVD

L'MPCVD è un sistema per depositare film sottili su un substrato utilizzando una camera a vuoto, un generatore di microonde e un sistema di erogazione del gas. Il plasma è generato all'interno della camera da un magnetron o da un klystron che genera microonde a 2,45 GHz. Il sistema di erogazione del gas è dotato di MFC calibrati in sccm per controllare il flusso di gas. La temperatura del substrato è controllata dal plasma e misurata da una termocoppia. Il plasma riscalda il substrato e la temperatura viene monitorata durante la deposizione.

Applicazioni

L'MPCVD è promettente per la produzione di diamanti di grandi dimensioni e di alta qualità a basso costo.

Le proprietà uniche del diamante, come la durezza, la rigidità, l'elevata conducibilità termica, la bassa espansione termica, la durezza alle radiazioni e l'inerzia chimica, lo rendono un materiale prezioso. Tuttavia, il costo elevato, le dimensioni limitate e la difficoltà di controllare le impurità dei diamanti naturali e sintetici ad alta pressione e ad alta temperatura ne hanno limitato le applicazioni.

L'MPCVD è l'apparecchiatura principale per la produzione di gemme e film di diamante, che possono essere monocristallini o policristallini. L'industria dei semiconduttori utilizza ampiamente la crescita di film di diamante per substrati di diamante di grandi dimensioni, così come l'industria degli strumenti di taglio e perforazione in diamante.

Rispetto al metodo HPHT per i diamanti coltivati in laboratorio, il metodo CVD a microonde è vantaggioso per la crescita di diamanti di grandi dimensioni a un costo inferiore, il che lo rende una soluzione ideale per i diamanti dei semiconduttori, per la crescita di diamanti ottici e per il mercato dei diamanti per gioielli di grandi dimensioni.

Macchine MPCVD KINTEK
Macchine KINTEK MPCVD
Nuovo modello di macchina diamantata MPCVD
Nuovo modello di macchina per diamanti KINTEK MPCVD
Nuovo modello di macchina per diamanti MPCVD
Nuovo modello di macchina per diamanti KINTEK MPCVD
Diamanti grezzi coltivati tramite MPCVD
Diamanti grezzi coltivati con la macchina per diamanti KINTEK MPCVD
Nella macchina MPCVD KinTek, i diamanti crescono
Nella macchina KinTek MPCVD crescono i diamanti
Nella macchina MPCVD KinTek, i diamanti crescono
Nella macchina MPCVD di KinTek i diamanti crescono
Nella macchina MPCVD KinTek, i diamanti crescono
Nella macchina MPCVD KinTek, i diamanti crescono
Nella macchina KinTek MPCVD, i diamanti crescono
Nella macchina MPCVD KinTek, i diamanti crescono
Nella macchina MPCVD di KinTek, i diamanti crescono
Nella macchina MPCVD di KinTek, i diamanti crescono
Diamante grezzo coltivato con la macchina KINTEK MPCVD
Diamante grezzo coltivato con la macchina KINTEK MPCVD
Diamante grezzo coltivato con macchina KINTEK MPCVD
Diamante grezzo coltivato con macchina KINTEK MPCVD
Diamante grezzo coltivato con la macchina KINTEK MPCVD
Diamante grezzo coltivato con la macchina KINTEK MPCVD
Diamanti cresciuti con MPCVD dopo la lucidatura
Diamanti cresciuti con MPCVD dopo la lucidatura
Policristallino con KinTek MPCVD
Policristallino da KinTek MPCVD

Vantaggi dell'MPCVD

L'MPCVD è un metodo di sintesi del diamante che presenta vantaggi rispetto all'HFCVD e al DC-PJ CVD. Evita la contaminazione e consente di utilizzare più gas. Offre una regolazione fluida della potenza delle microonde e un controllo stabile della temperatura, evitando la perdita di cristalli di seme. L'MPCVD è promettente per le applicazioni industriali grazie a un'area di plasma ampia e stabile.

L'MPCVD produce diamanti più puri utilizzando meno energia dell'HPHT. Inoltre, consente la produzione di diamanti più grandi.

Vantaggi del nostro sistema MPCVD

Siamo impegnati da molti anni nel settore e, di conseguenza, abbiamo una vasta base di clienti che si fidano e utilizzano le nostre apparecchiature. La nostra apparecchiatura MPCVD ha funzionato costantemente per oltre 40.000 ore, dimostrando un'eccezionale stabilità, affidabilità, ripetibilità ed economicità. Altri vantaggi del nostro sistema MPCVD sono:

  • Area di crescita del substrato di 3 pollici, carico massimo del lotto fino a 45 pezzi di diamanti
  • Potenza di uscita a microonde regolabile da 1 a 10 kW per un minor consumo di elettricità
  • Team di ricerca ricco di esperienza con supporto di ricette per la coltivazione di diamanti di frontiera
  • Esclusivo programma di supporto tecnico per il team di esperienza di crescita di diamanti zero

Sfruttando la tecnologia avanzata accumulata, abbiamo implementato diverse serie di aggiornamenti e miglioramenti al nostro sistema MPCVD, con il risultato di migliorare significativamente l'efficienza e ridurre i costi delle attrezzature. Di conseguenza, le nostre apparecchiature MPCVD sono all'avanguardia dei progressi tecnologici e vengono offerte a un prezzo competitivo. Benvenuti a consultarci.

Simulazione KinTek MPCVD
Simulazione MPCVD KinTek

Lavorazione

La macchina MPCVD controlla il flusso di ciascun percorso di gas e la pressione della cavità, introducendo i gas reagenti (come CH4, H2, Ar, O2, N2, ecc.) nella cavità a una pressione specifica. Dopo aver stabilizzato il flusso d'aria, il generatore di microonde a stato solido da 6KW genera microonde che vengono introdotte nella cavità attraverso la guida d'onda.

Il gas di reazione si trasforma in uno stato di plasma sotto il campo di microonde, formando una sfera di plasma che si libra sopra il substrato di diamante. L'alta temperatura del plasma riscalda il substrato a una temperatura specifica. Il calore in eccesso prodotto nella cavità viene dissipato dall'unità di raffreddamento ad acqua.

Per garantire condizioni di crescita ottimali durante il processo di crescita del diamante monocristallino MPCVD, regoliamo fattori quali la potenza, la composizione della sorgente di gas e la pressione della cavità. Inoltre, poiché la sfera di plasma non entra in contatto con la parete della cavità, il processo di crescita del diamante è privo di impurità, migliorando così la qualità del diamante.

Dettagli e parti

Sistema a microonde

Sistema a microonde

Camera di reazione

Camera di reazione

Sistema di flusso di gas

Sistema di flusso del gas

Sistema di vuoto e sensori

Sistema di vuoto e sensori

Specifiche tecniche

Sistema a microonde
  • Frequenza microonde 2450±15MHZ,
  • Potenza di uscita 1~10 KW regolabile in continuo
  • Stabilità della potenza di uscita a microonde: <±1%
  • Perdita di microonde ≤2MW/cm2
  • Interfaccia guida d'onda in uscita: WR340, 430 con flangia standard FD-340, 430
  • Flusso d'acqua di raffreddamento: 6-12L/min
  • Coefficiente d'onda stazionaria del sistema: VSWR ≤ 1,5
  • Regolatore manuale a microonde a 3 pin, cavità di eccitazione, carico ad alta potenza
  • Alimentazione in ingresso: 380VAC/50Hz ± 10%, trifase
Camera di reazione
  • Tasso di perdita di vuoto<5 × 10-9 Pa .m3/s
  • La pressione limite è inferiore a 0,7 Pa (configurazione standard con vacuometro Pirani)
  • L'aumento di pressione della camera non deve superare i 50 Pa dopo 12 ore di mantenimento della pressione.
  • Modalità di lavoro della camera di reazione: Modalità TM021 o TM023
  • Tipo di cavità: Cavità risonante a farfalla, con potenza massima di 10KW, in acciaio inox 304, con interstrato raffreddato ad acqua e metodo di tenuta della piastra di quarzo ad alta purezza.
  • Modalità di aspirazione dell'aria: Presa d'aria uniforme anulare superiore
  • Tenuta del vuoto: La connessione inferiore della camera principale e la porta di iniezione sono sigillate con anelli di gomma, la pompa del vuoto e il soffietto sono sigillati con KF, la piastra di quarzo è sigillata con un anello a C in metallo e il resto è sigillato con CF.
  • Finestra di osservazione e misurazione della temperatura: 4 porte di osservazione
  • Porta di carico del campione nella parte anteriore della camera
  • Scarico stabile nell'intervallo di pressione di 0,7KPa~30KPa (la pressione di alimentazione deve essere adeguata)
Supporto del campione
  • Diametro del tavolo portacampioni≥70 mm, area di utilizzo effettiva≥64 mm
  • Struttura a sandwich raffreddata ad acqua della piattaforma della piastra di base
  • Il supporto del campione può essere sollevato e abbassato in modo uniforme elettricamente nella cavità
Sistema di flusso del gas
  • Disco d'aria per la saldatura di tutti i metalli
  • Per tutti i circuiti interni del gas dell'apparecchiatura devono essere utilizzati giunti a saldare o VCR.
  • Misuratore di flusso MFC a 5 canali, H2/CH4/O2/N/Ar. H2: 1000 sccm ;CH4:100 sccm; O2: 2 sccm; N2: 2 sccm; Ar: 10 sccm
  • Pressione di lavoro 0,05-0,3MPa, precisione ±2%.
  • Controllo indipendente della valvola pneumatica per ogni misuratore di portata del canale
Sistema di raffreddamento
  • 3 linee di raffreddamento ad acqua, monitoraggio in tempo reale della temperatura e del flusso.
  • Il flusso d'acqua di raffreddamento del sistema è ≤ 50L/min.
  • La pressione dell'acqua di raffreddamento è<4KG e la temperatura dell'acqua in ingresso è di 20-25 ℃.
Sensore di temperatura
  • Il termometro esterno a infrarossi ha un intervallo di temperatura di 300-1400 ℃.
  • Precisione del controllo della temperatura < 2 ℃ o 2%
Sistema di controllo
  • Viene adottato il PLC Siemens smart 200 e il controllo touch screen.
  • Il sistema dispone di una varietà di programmi, in grado di realizzare il bilanciamento automatico della temperatura di crescita, il controllo accurato della pressione dell'aria di crescita, l'aumento automatico della temperatura, la diminuzione automatica della temperatura e altre funzioni.
  • Il funzionamento stabile dell'apparecchiatura e la protezione completa dell'apparecchiatura possono essere raggiunti attraverso il monitoraggio del flusso d'acqua, della temperatura, della pressione e di altri parametri, mentre l'affidabilità e la sicurezza del funzionamento possono essere garantite attraverso l'interblocco funzionale.
Funzione opzionale
  • Sistema di monitoraggio del centro
  • Potenza di base del substrato

Avvertenze

La sicurezza dell'operatore è la questione più importante! Si prega di utilizzare l'apparecchiatura con cautele. Lavorare con gas infiammabili, esplosivi o tossici è molto complicato pericoloso, gli operatori devono prendere tutte le precauzioni necessarie prima di avviare il attrezzatura. Lavorare con pressione positiva all'interno dei reattori o delle camere lo è pericoloso, l'operatore deve rispettare rigorosamente le procedure di sicurezza. Extra è necessario prestare attenzione anche quando si opera con materiali reattivi all'aria, soprattutto sotto vuoto. Una perdita può far entrare aria nell'apparecchio e causare a si verifichi una reazione violenta.

Progettato per te

KinTek fornisce servizi e attrezzature su misura ai clienti di tutto il mondo, il nostro lavoro di squadra specializzato e gli ingegneri esperti e ricchi sono in grado di farlo intraprendere la personalizzazione dei requisiti hardware e software di personalizzazione, e aiutare i nostri clienti a costruire attrezzature esclusive e personalizzate e soluzione!

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FAQ

Che Cos'è La Macchina Per Diamanti CVD?

Una macchina per diamanti CVD è un dispositivo utilizzato per produrre diamanti sintetici attraverso un processo chiamato Chemical Vapor Deposition (CVD). Questo processo prevede la precipitazione di vapori chimici per creare un diamante con proprietà equivalenti a quelle dei diamanti naturali. Le macchine per diamanti CVD includono la CVD termica assistita da filamenti, la CVD potenziata da plasma e la CVD assistita da fiamma di combustione, ecc. I diamanti CVD ottenuti sono utili nell'industria degli utensili da taglio grazie alla loro elevata durezza e alla lunga durata, che li rende uno strumento importante ed economico per il taglio di materiali non ferrosi.

Quali Sono I Tipi Di Macchine Per La Crescita Del Diamante Disponibili?

Per la coltivazione di diamanti artificiali sono disponibili diverse macchine, tra cui la CVD a filamento caldo, la CVD a fiamma di plasma a corrente continua, la deposizione di vapore chimico potenziata da plasma a microonde (MPCVD) e la CVD a micro plasma (MPCVD). Tra questi, l'MPCVD è ampiamente utilizzato grazie al riscaldamento omogeneo tramite microonde. Inoltre, il tasso di crescita del diamante può essere aumentato aumentando la densità del plasma e l'azoto può essere aggiunto per migliorare il tasso di crescita del diamante. Per ottenere una superficie piatta, si possono utilizzare varie tecniche di lucidatura, tra cui la lucidatura meccanica e chemio-meccanica. La crescita di diamanti di grandi dimensioni può essere ottenuta attraverso la crescita a mosaico o la crescita eteroepitassiale.

Qual è Il Principio Di Base Della CVD?

Il principio di base della deposizione chimica da vapore (CVD) consiste nell'esporre un substrato a uno o più precursori volatili che reagiscono o si decompongono sulla sua superficie per produrre un deposito di film sottile. Questo processo può essere utilizzato per diverse applicazioni, come film di modellazione, materiali isolanti e strati metallici conduttori. La CVD è un processo versatile che può sintetizzare rivestimenti, polveri, fibre, nanotubi e componenti monolitici. È anche in grado di produrre la maggior parte dei metalli e delle leghe metalliche e dei loro composti, semiconduttori e sistemi non metallici. La deposizione di un solido su una superficie riscaldata a seguito di una reazione chimica in fase di vapore caratterizza il processo CVD.

Come Funziona Una Macchina Per Diamanti CVD?

Le macchine diamantatrici CVD funzionano introducendo una miscela di gas, in genere metano e idrogeno, in una camera a vuoto. I gas vengono poi attivati con diverse tecniche, come il plasma a microonde o il filamento caldo, che rompono le molecole e liberano atomi di carbonio. Questi atomi di carbonio si depositano poi sul substrato, formando strato dopo strato un diamante sintetico.

Quali Sono I Vantaggi Dei Diamanti Coltivati In Laboratorio?

I vantaggi dei diamanti coltivati in laboratorio includono la conoscenza della loro origine, il prezzo più basso, il rispetto dell'ambiente e la possibilità di creare più facilmente diamanti colorati. I diamanti coltivati in laboratorio sono quasi al 100% certi della loro origine, il che li rende esenti da conflitti, sfruttamento minorile o guerre. Inoltre, costano almeno il 20% in meno rispetto ai diamanti naturali di pari dimensioni, purezza e taglio. I diamanti coltivati in laboratorio sono più sostenibili perché non vengono estratti e richiedono un minore impatto ambientale. Infine, i diamanti sintetici colorati sono più facili da produrre in un'ampia gamma di colori e hanno un prezzo decisamente più basso.

Quali Sono I Diversi Tipi Di Metodi CVD?

I diversi tipi di metodi CVD comprendono la CVD a pressione atmosferica (APCVD), la CVD a bassa pressione (LPCVD), la CVD ad altissimo vuoto, la CVD supportata da aerosol, la CVD a iniezione diretta di liquidi, la CVD a parete calda, la CVD a parete fredda, la CVD al plasma a microonde, la CVD potenziata al plasma (PECVD), la CVD potenziata al plasma a distanza, la CVD potenziata al plasma a bassa energia, la CVD a strato atomico, la CVD a combustione e la CVD a filamento caldo. Questi metodi si differenziano per il meccanismo di innesco delle reazioni chimiche e per le condizioni operative.

Quali Sono I Vantaggi Dell'utilizzo Di Macchine Per Diamanti CVD?

Le macchine per diamanti CVD offrono diversi vantaggi rispetto ad altri metodi di produzione del diamante. In primo luogo, consentono di creare diamanti di alta qualità, quasi privi di difetti, con un controllo preciso della loro forma, dimensione e chiarezza. Queste macchine consentono anche di produrre diamanti con proprietà specifiche, come il colore o la conduttività elettrica, introducendo gas droganti appropriati durante il processo di deposizione. Inoltre, le macchine per diamanti CVD sono più rispettose dell'ambiente rispetto all'estrazione tradizionale dei diamanti, in quanto riducono al minimo l'impatto sociale e ambientale associato all'estrazione dei diamanti.

Qual è Il Prezzo Della Macchina Per La Coltivazione CVD?

Il prezzo di una macchina per la coltivazione CVD può variare notevolmente a seconda delle dimensioni e della complessità dell'unità. I piccoli modelli da tavolo progettati per scopi di ricerca e sviluppo possono costare circa 50.000 dollari, mentre le macchine su scala industriale in grado di produrre grandi quantità di diamanti di alta qualità possono costare fino a 200.000 dollari. Tuttavia, il prezzo dei diamanti CVD è generalmente inferiore a quello dei diamanti estratti, il che li rende un'opzione più accessibile per i consumatori.

Quali Sono I Vantaggi Dell'utilizzo Di Macchine Per La Deposizione Da Vapore Chimico?

Le macchine per la deposizione di vapore chimico offrono diversi vantaggi nella deposizione di film sottili. Consentono un controllo preciso delle proprietà del film, come lo spessore, la composizione e l'uniformità. La CVD può depositare film su grandi superfici e forme complesse, rendendola adatta a un'ampia gamma di applicazioni. La tecnica consente la deposizione di una varietà di materiali, tra cui metalli, semiconduttori, ceramiche e composti organici. I film CVD possono presentare un'eccellente adesione, purezza e conformità alla superficie del substrato. Inoltre, le macchine CVD possono operare a temperature relativamente basse, riducendo lo stress termico sul substrato e consentendo la deposizione su materiali sensibili alla temperatura.

Quali Sono Le Considerazioni Da Fare Nella Scelta Di Una Macchina Diamantata CVD?

Nella scelta di una macchina per diamanti CVD, occorre considerare diversi fattori. In primo luogo, le dimensioni e la capacità della macchina devono essere in linea con i requisiti di produzione previsti. Le dimensioni della camera di deposizione devono adattarsi alle dimensioni del substrato desiderato e consentire la scalabilità. È necessario valutare anche le capacità di controllo e automazione della macchina per garantire la facilità di funzionamento e la riproducibilità. Inoltre, i metodi di riscaldamento e attivazione della macchina devono essere valutati per garantire l'efficienza e l'uniformità della crescita del diamante. È importante considerare anche la disponibilità di assistenza tecnica, i servizi di manutenzione e i costi complessivi di gestione. La consulenza di produttori ed esperti del settore può aiutare a selezionare la macchina diamantata CVD più adatta alle specifiche esigenze di produzione.

Quali Sono Le Applicazioni Delle Macchine Per La Deposizione Di Vapore Chimico?

Le macchine per la deposizione chimica da vapore trovano applicazione in diversi settori industriali e di ricerca. Nell'industria dei semiconduttori, la CVD viene utilizzata per depositare film sottili per circuiti integrati, come il biossido di silicio e il nitruro di silicio. La CVD è impiegata anche nella produzione di celle solari a film sottile, dove vengono depositati materiali come il tellururo di cadmio o il seleniuro di rame-indio-gallio. Altre applicazioni includono la deposizione di rivestimenti protettivi, come i film di carbonio simile al diamante, i rivestimenti resistenti all'usura e i rivestimenti antiriflesso. La CVD viene utilizzata anche nella produzione di rivestimenti ottici, come i film sottili per specchi, filtri e guide d'onda.

Quali Sono Le Applicazioni Più Comuni Dei Diamanti Prodotti Con Macchine Diamantate CVD?

I diamanti prodotti dalle macchine per diamanti CVD hanno un'ampia gamma di applicazioni. Sono comunemente utilizzati in gioielleria, in quanto offrono la stessa bellezza e durata dei diamanti naturali. I diamanti CVD sono molto apprezzati anche nelle applicazioni industriali, come utensili da taglio, abrasivi e dissipatori di calore, grazie alla loro eccezionale durezza e conducibilità termica. Sono utilizzati nell'industria elettronica per dispositivi elettronici ad alte prestazioni, come transistor ad alta potenza e rilevatori di radiazioni. I diamanti CVD trovano applicazione anche in campo medico, tra cui strumenti chirurgici, componenti ottici e rivestimenti per impianti, grazie alla loro biocompatibilità.

Quali Sono I Fattori Da Considerare Nella Scelta Di Una Macchina Per La Deposizione Di Vapore Chimico?

La scelta di una macchina per la deposizione chimica da vapore deve tenere conto di diversi fattori. Le proprietà del film richieste, come la composizione, lo spessore e l'uniformità, devono essere in linea con le capacità della macchina. Le dimensioni della camera di deposizione devono adattarsi alle dimensioni e alla forma del substrato desiderato. L'intervallo di temperatura e pressione della macchina deve corrispondere ai requisiti specifici di deposizione. È inoltre importante considerare la disponibilità e la compatibilità dei gas precursori per la deposizione del materiale desiderato. Altre considerazioni riguardano la facilità di funzionamento, i requisiti di manutenzione e il livello di automazione o le capacità di controllo. Inoltre, la consultazione con esperti o produttori può fornire indicazioni preziose per la scelta della macchina CVD più adatta a un'applicazione specifica.

Le Macchine Per La Deposizione Chimica Da Vapore Possono Essere Utilizzate Per La Deposizione Di Film Sottili Multistrato?

Sì, le macchine per la deposizione di vapore chimico possono essere utilizzate per la deposizione di film sottili multistrato. Controllando i parametri di deposizione e introducendo in sequenza diversi gas precursori, è possibile depositare più strati di materiali diversi su un substrato. Ciò consente di creare strutture complesse di film sottili con proprietà e funzionalità personalizzate. La sequenza di deposizione, la temperatura, la pressione e la portata dei gas per ogni strato possono essere controllate con precisione per ottenere la composizione e lo spessore del film desiderati. I film sottili multistrato trovano applicazione in diversi campi, come la microelettronica, l'optoelettronica e l'ingegneria delle superfici, dove i diversi strati svolgono funzioni specifiche o migliorano le prestazioni complessive del sistema materiale.
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La deposizione chimica da vapore, o CVD, è un processo di rivestimento che prevede l'uso di reagenti gassosi per produrre film sottili e rivestimenti di alta qualità.

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Macchine CVD per la deposizione di film sottili

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La deposizione chimica da vapore (CVD) è una tecnica ampiamente utilizzata per la deposizione di film sottili su vari substrati.

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Guida completa all'MPCVD: Sintesi e applicazioni del diamante

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Esplora i fondamenti, i vantaggi e le applicazioni della deposizione di vapore chimico al plasma a microonde (MPCVD) nella sintesi del diamante. Scoprite le sue capacità uniche e come si confronta con altri metodi di crescita del diamante.

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Guida per principianti alle macchine MPCVD

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MPCVD (Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition) è un processo utilizzato per depositare film sottili di materiale su un substrato utilizzando il plasma generato dalle microonde.

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Vantaggi e svantaggi della deposizione chimica da vapore (CVD)

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La deposizione da vapore chimico (CVD) è una tecnica versatile di deposizione di film sottili ampiamente utilizzata in vari settori. Scopritene i vantaggi, gli svantaggi e le potenziali nuove applicazioni.

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Forno PECVD Una soluzione a bassa potenza e bassa temperatura per la materia soffice

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I forni PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) sono diventati una soluzione popolare per la deposizione di film sottili su superfici di materia morbida.

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