A temperature più elevate, la deposizione di atomi sulle superfici comporta diversi processi complessi, tra cui la decomposizione termica, le reazioni superficiali e la migrazione degli adatomi. L'aumento della temperatura aumenta la mobilità degli adatomi, che può portare alla formazione di film più uniformi e densi, ma introduce anche il rischio di reazioni parassite che possono portare alla formazione di impurità.
Decomposizione termica e reazioni superficiali:
A temperature più elevate, i composti volatili della sostanza da depositare evaporano più facilmente. Questi vapori subiscono poi una decomposizione termica in atomi e molecole o reagiscono con altri gas sulla superficie del substrato. Questo processo è fondamentale perché influenza direttamente la composizione e la struttura del film depositato. Ad esempio, la decomposizione dell'ammoniaca su una superficie metallica illustra come i precursori molecolari si decompongano in adatomi elementari, essenziali per la crescita del film. La velocità di questa decomposizione, e di conseguenza la velocità di deposizione, è influenzata dalla temperatura e dalla pressione di processo.Migrazione e nucleazione degli adatomi:
Gli adatomi elementari creati dalle reazioni superficiali sono altamente mobili a temperature elevate. Migrano attraverso la superficie del substrato fino a quando non incontrano siti ad alta energia, come i vuoti atomici, i bordi del reticolo o i siti di piegatura sulle superfici cristalline. Sulle superfici non cristalline, altri tipi di siti superficiali intrappolano gli adatomi. Questa migrazione e l'eventuale nucleazione in siti specifici sono fondamentali per la formazione di un film uniforme e continuo. Temperature più elevate facilitano questa migrazione, portando potenzialmente a una nucleazione più efficiente e a una migliore qualità del film.
Reazioni parassite e impurità:
Nonostante i vantaggi delle temperature più elevate, queste condizioni aumentano anche la probabilità di reazioni parassite sulla superficie del materiale. Queste reazioni possono produrre impurità che possono compromettere le proprietà dello strato in crescita. Ad esempio, la formazione di composti indesiderati o l'intrappolamento di sottoprodotti può portare a difetti nel film, influenzandone le proprietà elettriche, meccaniche o ottiche.
Impatto sulla struttura e sulle proprietà del film:
