Il processo di deposizione chimica al plasma ad alta densità (HDPCVD) è una tecnica sofisticata utilizzata nella produzione di semiconduttori.
Consente la deposizione di film sottili a temperature più basse, con qualità e densità superiori rispetto ai metodi convenzionali di deposizione di vapore chimico al plasma (PECVD).
Questo processo è particolarmente efficace per il riempimento di microscopiche lacune dielettriche, come quelle che si trovano nell'isolamento di trincee poco profonde (STI) e negli interstrati dielettrici nelle tecnologie avanzate dei semiconduttori.
Cos'è il processo di deposizione chimica da plasma ad alta densità? 5 fasi chiave spiegate
1. Preparazione e impostazione
Il processo inizia con la preparazione di un substrato semiconduttore e il suo posizionamento in una camera di processo specializzata.
2. Generazione del plasma ad alta densità
L'ossigeno e un gas sorgente di silicio vengono introdotti nella camera per generare un plasma ad alta densità.
Questo plasma si forma utilizzando una sorgente di plasma ad accoppiamento induttivo, più efficiente del plasma ad accoppiamento capacitivo utilizzato nella PECVD.
3. Deposizione e mordenzatura simultanee
L'aspetto unico dell'HDPCVD è la capacità di eseguire simultaneamente deposizione e incisione all'interno della stessa camera.
Ciò si ottiene controllando il flusso di ioni e l'energia in modo indipendente, il che aiuta a riempire le lacune ad alto rapporto d'aspetto senza formare vuoti o pinch-off.
4. Controllo della temperatura
Il substrato viene riscaldato a una temperatura compresa tra 550 e 700 gradi Celsius durante il processo, garantendo condizioni ottimali per la deposizione e l'incisione del film.
5. Iniezione di gas
Vari gas, tra cui l'ossigeno, i gas di origine del silicio (come il silano o il disilano) e i gas di mordenzatura (come il fluoruro di silicio), vengono accuratamente iniettati nella camera per facilitare i processi di deposizione e mordenzatura.
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