I film sottili vengono depositati con varie tecniche, tra cui la deposizione fisica da vapore (PVD), la deposizione chimica da vapore (CVD) e la deposizione atomica da strato (ALD). Questi metodi consentono un controllo preciso dello spessore e della composizione dei film, che sono fondamentali per le loro applicazioni specifiche.
Deposizione fisica da vapore (PVD):
La PVD prevede l'evaporazione o lo sputtering del materiale di partenza, che poi si condensa sul substrato per formare un film sottile. Questo processo comprende tecniche come l'evaporazione, l'evaporazione a fascio di elettroni e lo sputtering. Nell'evaporazione, il materiale viene riscaldato fino a trasformarsi in vapore e quindi si deposita sul substrato. L'evaporazione a fascio di elettroni utilizza un fascio di elettroni per riscaldare il materiale, mentre lo sputtering consiste nel bombardare un materiale bersaglio con ioni per espellere atomi che poi si depositano sul substrato.Deposizione chimica da vapore (CVD):
La CVD utilizza reazioni chimiche per depositare un rivestimento sottile su un substrato. Il substrato viene esposto a gas precursori che reagiscono e depositano la sostanza desiderata. I metodi CVD più comuni comprendono la CVD a bassa pressione (LPCVD) e la CVD potenziata al plasma (PECVD). Queste tecniche consentono la deposizione di materiali complessi e un controllo preciso delle proprietà del film.
Deposizione di strati atomici (ALD):
L'ALD è un metodo altamente preciso che consente la deposizione di film uno strato atomico alla volta. Il substrato viene esposto alternativamente a determinati gas precursori in un processo ciclico. Questo metodo è particolarmente utile per creare film uniformi e conformi, anche su geometrie complesse.Applicazioni dei film sottili:
Le pellicole sottili hanno un'ampia gamma di applicazioni, che vanno dal miglioramento della durata e della resistenza ai graffi delle superfici alla modifica della conduttività elettrica o della trasmissione dei segnali. Ad esempio, il rivestimento riflettente di uno specchio è un film sottile, tipicamente depositato con tecniche di sputtering.
