Il processo CVD (Chemical Vapor Deposition) è un metodo sofisticato utilizzato per creare film sottili su substrati.
Comporta diverse fasi critiche per garantire che il film desiderato venga depositato in modo accurato ed efficiente.
Quali sono le 6 fasi chiave del processo CVD?
1. Alimentazione dei precursori
I precursori chimici vengono immessi nel reattore CVD.
Questi precursori possono essere gas o vapori che reagiscono per formare il film sottile desiderato sul substrato.
2. Trasporto alla superficie del substrato
Una volta all'interno del reattore, le molecole dei precursori devono essere trasportate sulla superficie del substrato.
Questo avviene tipicamente attraverso una combinazione di trasporto fluido e diffusione.
3. Adsorbimento
Le molecole di precursore che raggiungono la superficie del substrato devono poi adsorbire su di essa.
L'adsorbimento è il processo attraverso il quale le molecole di precursore aderiscono alla superficie.
4. Reazioni di superficie
Una volta adsorbite, le molecole di precursore subiscono reazioni chimiche sulla superficie del substrato o in prossimità di essa.
Queste reazioni possono essere termiche o assistite da plasma, a seconda dello specifico metodo CVD utilizzato.
5. Desorbimento
Dopo le reazioni superficiali, le molecole di sottoprodotto e le molecole di precursore non reagite devono essere desorbite dalla superficie del substrato.
In questo modo si crea lo spazio per altre molecole di precursore in arrivo per continuare il processo di deposizione.
6. Trattamento dei rifiuti
Il processo CVD può produrre materiali di scarto, sottoprodotti e gas precursori non reagiti.
Questi devono essere trattati e rimossi dalla camera di reazione per mantenere un ambiente pulito e prevenire la contaminazione.
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