La deposizione di film sottili coinvolge vari metodi, classificati principalmente in tecniche fisiche e chimiche. Questi metodi sono essenziali per applicare rivestimenti di materiali puri alle superfici, con spessori che vanno dagli angstrom ai micron. La scelta del metodo dipende da fattori quali lo spessore desiderato, la composizione della superficie del substrato e lo scopo della deposizione.
Metodi di deposizione fisica
I metodi di deposizione fisica non prevedono reazioni chimiche. Si basano invece su processi termodinamici o meccanici per produrre film sottili in ambienti a bassa pressione.
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Deposizione fisica da vapore (PVD): Questo metodo prevede la condensazione di materiali evaporati da una sorgente (materiale target) sulla superficie del substrato.
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Evaporazione: I materiali vengono riscaldati fino al loro punto di vaporizzazione e poi condensati sul substrato.
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Sputtering: Il materiale viene espulso da una sorgente bersaglio bombardandola con particelle energetiche, in genere ioni, che poi si depositano sul substrato.
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Metodi di deposizione chimica
I metodi di deposizione chimica prevedono reazioni chimiche per formare film sottili.
- Deposizione chimica da vapore (CVD): Nella CVD, il substrato è esposto a uno o più precursori volatili, che reagiscono e/o si decompongono sulla superficie del substrato per produrre il deposito desiderato. Questo metodo può produrre film sottili di elevata purezza, mono o policristallini o amorfi.
Altre tecniche
Altre tecniche per la formazione di film sottili sono
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Spin Coating: Questo metodo prevede il deposito di una soluzione su un substrato in rotazione ad alta velocità, che diffonde uniformemente la soluzione sulla superficie grazie alle forze centrifughe. Il solvente evapora, lasciando un film sottile.
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Rivestimento per immersione: Il substrato viene immerso in una soluzione e poi ritirato a velocità controllata. La soluzione in eccesso viene aspirata dal substrato e il solvente evapora, lasciando un film sottile.
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Film di Langmuir-Blodgett: Si tratta della deposizione di monostrati di materiale organico su un substrato immergendolo in una sottofase contenente i monostrati all'interfaccia aria-acqua.
Ognuno di questi metodi ha applicazioni e vantaggi specifici a seconda dei requisiti del film sottile, come le proprietà ottiche, elettroniche o biologiche. La scelta di un metodo di deposizione è fondamentale per ottenere le proprietà e la funzionalità del film desiderate.
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