La CVD (Chemical Vapor Deposition) offre diversi vantaggi rispetto alla PVD (Physical Vapor Deposition), soprattutto grazie alle sue caratteristiche di processo e alla natura dei rivestimenti che può produrre. Questi vantaggi includono la capacità di operare a pressioni più elevate, la capacità di depositare film conformi su superfici irregolari e la produzione di rivestimenti uniformi e di alta qualità. Inoltre, la CVD è in grado di gestire materiali come l'Al2O3, difficili da trattare con i metodi PVD tradizionali.
Maggiore pressione operativa e riduzione dei costi delle apparecchiature:
I processi CVD operano a pressioni significativamente più elevate rispetto alla PVD, eliminando così la necessità di pompe per il vuoto spinto. Questa riduzione dei requisiti della tecnologia del vuoto può portare a una riduzione dei costi delle apparecchiature, soprattutto se il sistema non necessita di un'ampia infrastruttura di gestione dei gas tossici.Deposizione di film conformi su superfici irregolari:
La pressione più elevata e le proprietà di flusso laminare della CVD consentono di depositare film che non devono essere in linea di vista. Questa caratteristica consente alla CVD di rivestire uniformemente substrati con superfici irregolari o substrati densamente impacchettati. A differenza della PVD, che spesso produce rivestimenti non uniformi a causa della sua natura direzionale, la CVD può rivestire uniformemente tutte le parti esposte di una struttura 3D complessa.
Produzione di rivestimenti uniformi di alta qualità:
La CVD eccelle nella produzione di rivestimenti con un'eccellente conformità. È in grado di rivestire uniformemente strutture 3D complesse, il che rappresenta un vantaggio significativo rispetto all'approccio PVD in linea d'aria. Il rivestimento uniforme prodotto dalla CVD non ha effetti direzionali, garantendo una copertura uniforme e di alta qualità.Gestione di materiali specifici come l'Al2O3:
La CVD offre un vantaggio nella lavorazione di materiali come l'Al2O3, che presenta un'ottima stabilità fisica e chimica, durezza, resistenza all'usura e basso costo. Queste proprietà rendono l'Al2O3 un materiale di rivestimento desiderabile e la sua lavorazione è più fattibile con la CVD che con la PVD convenzionale, a causa delle limitazioni del processo produttivo della PVD.