La deposizione chimica da vapore (CVD) è un metodo altamente versatile e veloce per la produzione di rivestimenti densi e puri con spessore uniforme.
Si tratta di un approccio dal basso verso l'alto che prevede una reazione chimica di un precursore chimico gassoso guidata dal calore o dal plasma per produrre film sottili su un substrato.
5 punti chiave da conoscere
1. Elevata velocità di deposizione
La CVD è un metodo relativamente veloce di deposizione di film sottili.
Offre tassi di deposizione elevati, soprattutto quando si utilizza il plasma per migliorare il processo di deposizione.
2. CVD potenziata al plasma (PECVD)
La deposizione di vapore chimico potenziata da plasma (PECVD) consente di aumentare i tassi di deposizione a una temperatura ridotta del substrato, poiché i reagenti sono sotto forma di plasma.
Ciò la rende adatta a depositare film sottili di materiali come nitruro di silicio, silicio amorfo e silicio microcristallino su vari substrati.
3. Deposizione chimica da vapore con il laser
La velocità del processo CVD può essere aumentata anche utilizzando la deposizione chimica da vapore con il laser.
In questo metodo, un raggio laser viene utilizzato per riscaldare una parte del substrato, provocando una deposizione più rapida sul lato riscaldato.
4. Ulteriori vantaggi
Oltre alla velocità di deposizione, la deposizione chimica da vapore offre numerosi altri vantaggi.
È un metodo di rivestimento relativamente economico e può essere utilizzato per rivestire vari elementi e composti.
I rivestimenti ottenuti hanno un'elevata purezza e un'ottima adesione.
Il processo consente inoltre di ottenere un rivestimento uniforme e, essendo un processo senza linea di vista, non richiede una linea di vista diretta tra il materiale di destinazione e il substrato, rendendo possibile il rivestimento di più parti in un'unica reazione.
5. Applicazioni
Inoltre, la deposizione chimica da vapore ha la capacità di creare strati ultrasottili, il che la rende ideale per le applicazioni che richiedono rivestimenti sottili, come i circuiti elettrici.
Nel complesso, la deposizione chimica da vapore è un metodo versatile, rapido ed efficiente di deposizione di film sottili, con numerosi vantaggi rispetto ad altre tecniche di deposizione.
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