La densità del plasma può variare notevolmente a seconda del metodo di generazione del plasma e delle condizioni in cui viene creato.
Il plasma può essere caratterizzato dal suo grado di ionizzazione, che varia da debolmente ionizzato (come nei plasmi capacitivi) a completamente ionizzato.
La densità del plasma si misura in genere in particelle per centimetro cubo (cm^-3).
5 fattori chiave da conoscere
1. Plasmi a bassa densità
I plasmi capacitivi, spesso utilizzati in processi come la deposizione di vapore chimico potenziata al plasma (PECVD), sono in genere debolmente ionizzati.
In questi plasmi, la ionizzazione è limitata e porta a densità più basse.
I precursori in questi plasmi non sono altamente dissociati, il che comporta tassi di deposizione più bassi e densità di plasma complessivamente inferiori.
2. Plasmi ad alta densità
I plasmi ad alta densità possono essere generati utilizzando scariche induttive, in cui un segnale ad alta frequenza induce un campo elettrico all'interno della scarica, accelerando gli elettroni in tutto il plasma anziché solo sul bordo della guaina.
Questo metodo permette di ottenere densità di plasma molto più elevate, essenziali per i processi che richiedono alti tassi di deposizione o alti livelli di dissociazione dei precursori.
3. Altre tecniche per plasmi ad alta densità
I reattori a risonanza di ciclotrone di elettroni e le antenne a onde eliconiche sono altre tecniche utilizzate per creare scariche ad alta densità.
Questi metodi prevedono l'uso di alte potenze di eccitazione, spesso 10 kW o più, per generare e sostenere il plasma ad alta densità.
4. Scariche in corrente continua in ambienti ricchi di elettroni
Un altro metodo per ottenere plasmi ad alta densità è la scarica in corrente continua in un ambiente ricco di elettroni, tipicamente ottenuto dall'emissione termoionica di filamenti riscaldati.
Questo metodo consente di ottenere un plasma ad alta densità e bassa energia, utile per la deposizione epitassiale ad alta velocità nei reattori di deposizione chimica da vapore potenziata da plasma a bassa energia (LEPECVD).
5. Densità del plasma freddo
Il plasma freddo, o plasma non in equilibrio, è caratterizzato dalla presenza di elettroni a temperature molto elevate (oltre 10.000 K) mentre gli atomi neutri rimangono a temperatura ambiente.
La densità degli elettroni nel plasma freddo è generalmente bassa rispetto alla densità degli atomi neutri.
I plasmi freddi sono in genere prodotti applicando energia elettrica a gas inerti a temperatura ambiente e pressione atmosferica, il che li rende accessibili e convenienti per varie applicazioni.
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