Esistono due tipi fondamentali di tecniche di deposizione: fisica e chimica.
Tecniche di deposizione fisica:
- I metodi di deposizione fisica si basano su processi termodinamici o meccanici per produrre film sottili senza coinvolgere reazioni chimiche. Queste tecniche richiedono ambienti a bassa pressione per ottenere risultati funzionali e accurati. Esempi di tecniche di deposizione fisica sono:Evaporazione:
- Il materiale viene riscaldato finché non si trasforma in vapore, che poi si condensa sul substrato per formare un film sottile.Sputtering:
- Un materiale bersaglio viene bombardato con particelle ad alta energia, provocando l'espulsione di atomi e il loro deposito su un substrato.Deposizione laser pulsata (PLD):
Un raggio laser ad alta potenza viene focalizzato su un materiale target, vaporizzandolo e depositandolo su un substrato.Tecniche di deposizione chimica:
- Le tecniche di deposizione chimica prevedono reazioni chimiche per depositare i materiali su un substrato. Questi metodi possono essere ulteriormente classificati in:
- Deposizione chimica da vapore (CVD): I gas precursori reagiscono sulla superficie di un substrato per depositare film sottili.
- Deposizione di strati atomici (ALD): Un processo autolimitante in cui i precursori vengono introdotti in sequenza per depositare un film sottile uno strato atomico alla volta.
Elettrodeposizione:
Una corrente elettrica viene utilizzata per ridurre i cationi metallici disciolti, provocando la formazione di un rivestimento metallico coerente su un substrato.Ogni tecnica di deposizione ha le sue fasi specifiche, che comprendono la selezione del materiale di partenza, il trasporto del materiale sul substrato, il deposito del materiale ed eventualmente la ricottura o il trattamento termico del film per ottenere le proprietà desiderate. La scelta della tecnica di deposizione dipende dallo spessore desiderato, dalla composizione della superficie del substrato e dallo scopo della deposizione. Queste tecniche sono fondamentali per creare film sottili con proprietà personalizzate per varie applicazioni, tra cui elettronica, ottica e dispositivi energetici.
