I metalli che possono essere rivestiti con lo sputtering includono oro, carbonio, tungsteno, iridio, cromo, platino, palladio, argento, ossido di alluminio, ossido di ittrio, ossido di indio-stagno (ITO), ossido di titanio, nitruro di tantalio e gadolinio. Questi materiali vengono scelti per le loro proprietà specifiche, come la conduttività, la dimensione dei grani e la compatibilità con tecniche analitiche come l'EDX.
L'oro è storicamente il materiale più comune per il rivestimento sputter, grazie alla sua elevata conduttività e alle piccole dimensioni dei grani, ideali per l'imaging ad alta risoluzione. È particolarmente favorito nelle applicazioni in cui la conducibilità elettrica e la minima interferenza con l'imaging sono fondamentali.
Il carbonio è utilizzato quando è richiesta l'analisi a raggi X a dispersione di energia (EDX) perché il suo picco di raggi X non entra in conflitto con i picchi di altri elementi, garantendo un'analisi accurata della composizione elementare del campione.
Tungsteno, iridio e cromo sono materiali più recenti utilizzati per il rivestimento sputter, soprattutto quando è necessaria un'imaging ad altissima risoluzione. Questi metalli hanno granulometrie ancora più fini rispetto all'oro, migliorando la risoluzione e la chiarezza delle immagini ottenute.
Anche il platino, il palladio e l'argento L'argento ha il vantaggio della reversibilità, che può essere particolarmente utile in alcune configurazioni sperimentali in cui è necessario rimuovere o modificare il rivestimento senza danneggiare il campione.
L'ossido di alluminio, l'ossido di ittrio, l'ossido di indio-stagno (ITO), l'ossido di titanio, il nitruro di tantalio e il gadolinio sono altri materiali utilizzati per il rivestimento sputter. Questi materiali vengono scelti per le loro proprietà specifiche, come la resistenza chimica, la conducibilità elettrica e le proprietà ottiche. Ad esempio, l'ITO è utilizzato per la sua trasparenza e conduttività, che lo rendono ideale per i display elettronici.
In sintesi, la scelta del metallo per il rivestimento sputter dipende dai requisiti specifici dell'applicazione, tra cui la necessità di conduttività, la risoluzione, la compatibilità con le tecniche analitiche e le proprietà fisiche o chimiche del materiale di rivestimento.
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