Quando si tratta di depositare film sottili, due metodi comuni sono l'evaporazione termica e l'evaporazione a fascio elettronico.
5 differenze chiave tra l'evaporazione termica e l'evaporazione a fascio elettronico
1. Metodo di riscaldamento
Nell'evaporazione termica, per riscaldare il materiale di partenza si utilizza una "barca" resistiva.
Una corrente elettrica elevata viene fatta passare attraverso la barca, provocando la fusione e l'evaporazione del materiale.
Il materiale evaporato si condensa su un substrato formando un film sottile.
L'evaporazione a fascio elettronico, invece, utilizza un fascio di elettroni ad alta energia per riscaldare e vaporizzare direttamente il materiale di partenza.
Gli elettroni vengono creati da un filamento di tungsteno e accelerati verso il materiale di destinazione, facendolo evaporare.
2. Idoneità per i materiali
L'evaporazione termica è ideale per i materiali che richiedono una temperatura di fusione inferiore.
Ciò include sia i metalli che i non metalli.
L'evaporazione a fascio elettronico può gestire materiali a temperatura più elevata, come gli ossidi.
3. Velocità di deposizione
L'evaporazione a fascio elettronico ha generalmente un tasso di deposizione più elevato rispetto all'evaporazione termica.
Ciò significa che con l'evaporazione a fascio elettronico è possibile ottenere più rapidamente i rivestimenti a film sottile.
4. Rivestimenti a film sottile
L'evaporazione termica tende a produrre rivestimenti a film sottile meno densi.
L'evaporazione a fascio elettronico consente di ottenere rivestimenti a densità più elevata.
Ciò è dovuto ai diversi meccanismi di riscaldamento e alla maggiore energia fornita dal fascio di elettroni.
5. Rischio di impurità
L'evaporazione termica presenta un rischio maggiore di impurità a causa del riscaldamento del crogiolo.
Questo può portare alla contaminazione del materiale evaporato.
L'evaporazione a fascio elettronico consente di ottenere film sottili di maggiore purezza grazie al riscaldamento diretto del materiale di partenza da parte del fascio di elettroni.
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