Il processo di evaporazione inizia inserendo il materiale (solitamente pellet, fili o granuli) in un crogiolo. L'elemento riscaldante aumenta la temperatura del crogiolo, facendo sublimare o evaporare il materiale. Il materiale evaporato viaggia lungo un percorso a vista verso il substrato, dove si condensa e forma un film sottile. Il substrato viene posizionato con cura per ricevere il materiale evaporato e può essere ruotato o inclinato per garantire una deposizione uniforme su tutta la superficie.
Le sorgenti di evaporazione termica sono ampiamente utilizzate in vari settori, tra cui la produzione di semiconduttori, l'ottica, la tecnologia dei display e i rivestimenti. Offrono semplicità, versatilità e la capacità di depositare un'ampia gamma di materiali, tra cui metalli, leghe, ossidi e composti organici. Il processo può essere facilmente controllato per ottenere velocità di deposizione, spessori e composizioni precise.
Per aumentare le prestazioni e l'efficienza della sorgente di evaporazione termica, è possibile combinare altre funzioni. Queste possono includere meccanismi di chiusura per controllare il processo di deposizione, camere di espulsione per far evaporare i materiali a temperature più basse o schermi termici per ridurre al minimo la perdita di calore e migliorare l'uniformità della temperatura.
In sintesi, le sorgenti di evaporazione termica sono un componente importante del processo di deposizione fisica del vapore utilizzato per depositare film sottili di materiali su substrati. Sono costituite da un crogiolo o da una barca, da un elemento riscaldante e da un sistema di controllo della temperatura. L'evaporazione termica è una tecnologia comunemente utilizzata in diversi settori, che consente un controllo preciso della velocità di deposizione, dello spessore e della composizione del film.
