Parti per la deposizione di film sottili
Crogiolo a fascio di elettroni
Numero articolo : KES01
Il prezzo varia in base a specifiche e personalizzazioni
- Materiale
- Tantalio / Molibdeno / Tungsteno
- Specifiche
- 4CC / 7CC /15CC / 25CC / 40CC
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Il cannone elettronico produce un potente fascio di elettroni che viene diretto verso il crogiolo. Gli elettroni riscaldano il materiale nel crogiolo fino a trasformarlo in atomi o cluster molecolari. Nell'evaporazione con fascio di elettroni, il crogiolo è come un recipiente che contiene e riscalda il materiale da depositare. È fatto di un materiale speciale che può resistere alle alte temperature senza fondere. Aiuta a concentrare il calore sul materiale da evaporare.
Si usa soprattutto per i seguenti scopi:
- Deposizione di film sottili: Ampiamente utilizzata nelle tecnologie di deposizione di film sottili come l'evaporazione a fascio di elettroni, la produzione di film sottili di dispositivi elettronici, il rivestimento ottico e la modifica della superficie dei materiali.
- Industria dei semiconduttori: deposizione di film metallici sottili come interconnessioni, contatti ohmici e barriere di diffusione.
- Ottica e optoelettronica: Rivestimenti ottici, rivestimenti antiriflesso e specchi per vari dispositivi ottici.
Dettaglio e parti
Specifiche tecniche
| Prodotto | Crogiolo di molibdeno/tungsteno | Crogiolo di nitruro di boro/Crogiolo conduttivo di nitruro di boro | Crogiolo di grafite/Crociolo di grafite rivestito | Crogioli rivestiti di grafite pirolitica | Crogiolo di nichel | Crogiolo di titanio | crogiolo di rame | Crogiolo di allumina |
| Specificazioni | 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC | 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC | 4CC / 7CC / 15CC / 25CC / 40CC | 4CC / 7CC | 4CC | 4CC | 4CC / 2CC / 40CC | 4CC |
I crogioli che presentiamo sono disponibili in diverse misure e su richiesta sono disponibili misure personalizzate.
Vantaggi
- Maggiore velocità di evaporazione.
- Miglioramento della stabilità termica; riscaldamento uniforme.
- Riduzione del calore trasferito al crogiolo; buone prestazioni di isolamento termico.
- Consente un rapido cambio di materiale per ridurre al minimo i tempi di inattività della camera.
- Compatibilità con il vuoto; membrana ad alta purezza.
- Versatilità; supporta diversi materiali.
- Riduce al minimo i danni al crogiolo e la manutenzione.
- Questi vantaggi rendono il crogiolo a fascio di elettroni uno strumento importante nel processo di deposizione di film sottili, in grado di fornire un controllo preciso, un'elevata velocità di deposizione e film sottili di alta qualità per vari settori industriali e di ricerca.
FAQ
Quali Sono Le Fonti Di Evaporazione Termica?
Che Cos'è La Deposizione Fisica Da Vapore (PVD)?
Confronto Tra L'evaporazione Termica E L'evaporazione A Fascio Di Elettroni.
Quali Sono I Principali Tipi Di Sorgenti Di Evaporazione Termica?
Che Cos'è Lo Sputtering Magnetronico?
Come Funzionano Le Fonti Di Evaporazione Termica?
Perché Lo Sputtering Magnetronico?
Quali Sono I Vantaggi Dell'utilizzo Delle Sorgenti Di Evaporazione Termica?
Quali Sono I Materiali Più Comuni Utilizzati Per I Crogioli Di Evaporazione?
Quali Sono I Materiali Utilizzati Nella Deposizione Di Film Sottili?
La deposizione di film sottili utilizza comunemente metalli, ossidi e composti come materiali, ciascuno con vantaggi e svantaggi unici. I metalli sono preferiti per la loro durata e facilità di deposizione, ma sono relativamente costosi. Gli ossidi sono molto durevoli, resistono alle alte temperature e possono essere depositati a basse temperature, ma possono essere fragili e difficili da lavorare. I composti offrono resistenza e durata, possono essere depositati a basse temperature e personalizzati per esibire proprietà specifiche.
La scelta del materiale per un rivestimento a film sottile dipende dai requisiti dell'applicazione. I metalli sono ideali per la conduzione termica ed elettrica, mentre gli ossidi sono efficaci per offrire protezione. I composti possono essere personalizzati per soddisfare esigenze specifiche. In definitiva, il materiale migliore per un particolare progetto dipenderà dalle esigenze specifiche dell'applicazione.
Per Quali Applicazioni Vengono Utilizzate Le Sorgenti Di Evaporazione Termica?
Quali Sono I Vantaggi Dell'uso Dei Crogioli Evaporativi?
Quali Sono I Metodi Per Ottenere Una Deposizione Ottimale Di Film Sottili?
Per ottenere film sottili con proprietà desiderabili, sono essenziali target di sputtering e materiali di evaporazione di alta qualità. La qualità di questi materiali può essere influenzata da vari fattori, come la purezza, la dimensione dei grani e le condizioni della superficie.
La purezza dei target di sputtering o dei materiali di evaporazione svolge un ruolo cruciale, poiché le impurità possono causare difetti nel film sottile risultante. Anche la dimensione dei grani influisce sulla qualità del film sottile, con grani più grandi che portano a proprietà scadenti. Inoltre, le condizioni della superficie sono cruciali, poiché le superfici ruvide possono causare difetti nel film.
Per ottenere bersagli di sputtering e materiali di evaporazione della massima qualità, è fondamentale selezionare materiali che possiedano un'elevata purezza, una piccola dimensione dei grani e superfici lisce.
Usi Della Deposizione A Film Sottile
Film sottili a base di ossido di zinco
I film sottili di zinco trovano applicazione in diversi settori, come quello termico, ottico, magnetico ed elettrico, ma il loro impiego principale è nei rivestimenti e nei dispositivi a semiconduttore.
Resistenze a film sottile
Le resistenze a film sottile sono cruciali per la tecnologia moderna e sono utilizzate in ricevitori radio, circuiti stampati, computer, dispositivi a radiofrequenza, monitor, router wireless, moduli Bluetooth e ricevitori per telefoni cellulari.
Film sottili magnetici
I film sottili magnetici sono utilizzati nell'elettronica, nella memorizzazione dei dati, nell'identificazione a radiofrequenza, nei dispositivi a microonde, nei display, nei circuiti e nell'optoelettronica come componenti chiave.
Film sottili ottici
I rivestimenti ottici e l'optoelettronica sono applicazioni standard dei film sottili ottici. L'epitassia a fascio molecolare può produrre dispositivi optoelettronici a film sottile (semiconduttori), dove i film epitassiali sono depositati un atomo alla volta sul substrato.
Film sottili polimerici
I film sottili polimerici sono utilizzati nei chip di memoria, nelle celle solari e nei dispositivi elettronici. Le tecniche di deposizione chimica (CVD) offrono un controllo preciso dei rivestimenti di film polimerici, compresi la conformità e lo spessore del rivestimento.
Batterie a film sottile
Le batterie a film sottile alimentano dispositivi elettronici come i dispositivi medici impiantabili, e la batteria agli ioni di litio è progredita in modo significativo grazie all'uso di film sottili.
Rivestimenti a film sottile
I rivestimenti a film sottile migliorano le caratteristiche chimiche e meccaniche dei materiali di destinazione in varie industrie e campi tecnologici. Rivestimenti antiriflesso, rivestimenti anti-ultravioletti o anti-infrarossi, rivestimenti antigraffio e polarizzazione delle lenti sono alcuni esempi comuni.
Celle solari a film sottile
Le celle solari a film sottile sono essenziali per l'industria dell'energia solare, in quanto consentono la produzione di elettricità pulita e relativamente economica. I sistemi fotovoltaici e l'energia termica sono le due principali tecnologie applicabili.
Come Devono Essere Maneggiati E Mantenuti I Crogioli Di Evaporazione?
Fattori E Parametri Che Influenzano La Deposizione Di Film Sottili
Rapidità di deposizione:
La velocità di produzione del film, tipicamente misurata in spessore diviso per il tempo, è fondamentale per selezionare una tecnologia adatta all'applicazione. Per i film sottili è sufficiente una velocità di deposizione moderata, mentre per i film spessi è necessaria una velocità di deposizione rapida. È importante trovare un equilibrio tra velocità e controllo preciso dello spessore del film.
Uniformità:
La consistenza del film sul substrato è nota come uniformità, che di solito si riferisce allo spessore del film ma può anche riguardare altre proprietà come l'indice di rifrazione. È importante avere una buona comprensione dell'applicazione per evitare di sotto- o sovra-specificare l'uniformità.
Capacità di riempimento:
La capacità di riempimento o copertura del gradino si riferisce a quanto il processo di deposizione copre la topografia del substrato. Il metodo di deposizione utilizzato (ad esempio, CVD, PVD, IBD o ALD) ha un impatto significativo sulla copertura dei gradini e sul riempimento.
Caratteristiche del film:
Le caratteristiche del film dipendono dai requisiti dell'applicazione, che possono essere classificati come fotonici, ottici, elettronici, meccanici o chimici. La maggior parte dei film deve soddisfare i requisiti di più di una categoria.
Temperatura di processo:
Le caratteristiche del film sono significativamente influenzate dalla temperatura di processo, che può essere limitata dall'applicazione.
Danni:
Ogni tecnologia di deposizione ha il potenziale di danneggiare il materiale su cui viene depositato, con caratteristiche più piccole che sono più suscettibili ai danni di processo. L'inquinamento, le radiazioni UV e il bombardamento ionico sono tra le potenziali fonti di danno. È fondamentale comprendere i limiti dei materiali e degli strumenti.
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