La deposizione assistita da plasma è una sofisticata tecnica di produzione utilizzata per depositare film sottili su vari substrati.
In particolare, comprende la deposizione chimica da vapore assistita da plasma (PACVD) e la deposizione chimica da vapore potenziata da plasma (PECVD).
Questi processi utilizzano il plasma, uno stato della materia composto da particelle cariche, per avviare e sostenere reazioni chimiche che portano alla deposizione di materiale su un substrato.
L'energia per queste reazioni è solitamente fornita da scariche elettriche ad alta frequenza, come le sorgenti a radiofrequenza, a corrente continua o a microonde.
5 fasi chiave spiegate
1. Generazione del plasma
Il processo inizia con la generazione di plasma all'interno di una camera a vuoto.
In genere si ottiene applicando una scarica elettrica tra due elettrodi.
L'energia di questa scarica ionizza il gas, creando un plasma composto da ioni, elettroni e radicali liberi.
2. Attivazione dei gas precursori
I gas precursori, come il silano o l'ossigeno, vengono introdotti nel plasma.
Le particelle ad alta energia nel plasma si scontrano con questi gas, rompendoli e creando specie reattive.
3. Deposizione sul substrato
Queste specie reattive raggiungono il substrato, dove reagiscono e vengono assorbite dalla superficie.
Ciò determina la crescita di un film sottile.
I sottoprodotti chimici di queste reazioni vengono desorbiti e rimossi dalla camera, completando il processo di deposizione.
4. Controllo dei parametri di deposizione
Le proprietà del film depositato, come lo spessore, la durezza e l'indice di rifrazione, possono essere controllate regolando parametri come le portate di gas e le temperature di esercizio.
In genere, portate di gas più elevate aumentano la velocità di deposizione.
5. Versatilità e applicazioni
La deposizione assistita da plasma è altamente versatile e può depositare un'ampia gamma di materiali, tra cui metalli, ossidi, nitruri e polimeri.
Può essere utilizzata su oggetti di varie dimensioni e forme, rendendola adatta a numerose applicazioni in settori quali l'elettronica, l'ottica e la produzione.
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