Conoscenza Come funziona la deposizione a fascio elettronico? 4 fasi chiave spiegate
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Squadra tecnologica · Kintek Solution

Aggiornato 2 mesi fa

Come funziona la deposizione a fascio elettronico? 4 fasi chiave spiegate

La deposizione a fascio di elettroni è un processo utilizzato nella deposizione fisica di vapore (PVD) in cui un fascio di elettroni ad alta energia viene utilizzato per far evaporare un materiale di partenza, che poi si deposita come film sottile su un substrato.

Il processo avviene in una camera a vuoto per garantire un'elevata purezza e un controllo preciso della deposizione.

4 fasi chiave spiegate

Come funziona la deposizione a fascio elettronico? 4 fasi chiave spiegate

1. Generazione del fascio di elettroni

Il processo inizia con la generazione di un fascio di elettroni mediante un cannone elettronico.

Questo cannone contiene un filamento, in genere di tungsteno, che viene riscaldato per emettere elettroni attraverso l'emissione termoionica.

Gli elettroni vengono accelerati e focalizzati in un fascio da un campo magnetico.

2. Evaporazione del materiale

Il fascio di elettroni focalizzato viene diretto su un crogiolo contenente il materiale da depositare.

L'energia del fascio riscalda il materiale, facendolo evaporare o sublimare a seconda delle sue proprietà.

Ad esempio, i metalli come l'alluminio possono prima fondere e poi evaporare, mentre la ceramica può sublimare direttamente da solido a vapore.

3. Deposizione sul substrato

Il materiale evaporato forma un vapore che attraversa la camera a vuoto e si condensa su un substrato posizionato sopra il crogiolo.

Il substrato può essere ruotato e posizionato con precisione per controllare l'uniformità e lo spessore del film depositato.

4. Miglioramenti e controllo

Il processo può essere migliorato utilizzando fasci di ioni per assistere la deposizione, migliorando l'adesione e la densità del film.

Il controllo computerizzato di vari parametri come il riscaldamento, i livelli di vuoto e il movimento del substrato garantisce la deposizione di rivestimenti conformi con proprietà ottiche specifiche.

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