Il processo termico di evaporazione è un metodo utilizzato per vaporizzare un materiale riscaldandolo a una temperatura in cui la pressione di vapore diventa significativa.
Questo processo provoca la perdita di atomi o molecole dalla superficie del materiale nel vuoto.
Il materiale può trovarsi allo stato liquido o solido prima che avvenga l'evaporazione.
5 fasi chiave spiegate
1. Riscaldamento del materiale bersaglio
Il materiale target viene sottoposto a temperature molto elevate, per sublimazione o ebollizione, per creare un vapore.
2. Trasporto del vapore
Il materiale vaporizzato viene trasportato sul substrato attraverso un ambiente sotto vuoto.
3. Condensazione sul substrato
Il vapore si condensa sulla superficie del substrato, formando un film sottile solido.
4. Ripetizione del processo
Il processo di deposizione può essere ripetuto per ottenere un'ulteriore crescita e nucleazione del film sottile.
5. Utilizzo del riscaldamento Joule
Il processo si basa sul riscaldamento joule di un'imbarcazione resistiva per riscaldare il materiale fino al suo punto di evaporazione, quindi le molecole vaporizzate viaggiano dalla sorgente al substrato per formare un rivestimento in film sottile.
L'evaporazione termica è una tecnica popolare per la sua semplicità e versatilità.
Può essere utilizzata per depositare un'ampia gamma di materiali, tra cui alluminio, argento, nichel, cromo e magnesio.
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