Il rivestimento sputter è un processo in cui un sottile strato di metallo viene depositato su una superficie.
La dimensione dei grani di questi materiali di rivestimento può variare a seconda del metallo utilizzato.
Per metalli come l'oro e l'argento, la dimensione dei grani varia in genere tra i 5 e i 10 nanometri (nm).
L'oro è una scelta comune per il rivestimento sputter grazie alla sua eccellente conduttività elettrica.
Tuttavia, l'oro ha una grana più grande rispetto ad altri metalli comunemente utilizzati per lo sputtering.
Questa maggiore dimensione dei grani rende l'oro meno adatto alle applicazioni che richiedono rivestimenti ad alta risoluzione.
Al contrario, metalli come l'oro-palladio e il platino hanno grani più piccoli.
Queste granulometrie più piccole sono vantaggiose per ottenere rivestimenti a più alta risoluzione.
Metalli come il cromo e l'iridio offrono granulometrie ancora più piccole, ideali per rivestimenti molto fini.
Questi metalli richiedono l'uso di un sistema di sputtering ad alto vuoto, in particolare un sistema a pompa turbomolecolare.
La scelta del metallo per il rivestimento sputter nelle applicazioni di microscopia elettronica a scansione (SEM) è fondamentale.
Influisce direttamente sulla risoluzione e sulla qualità delle immagini ottenute.
Il processo di rivestimento prevede il deposito di uno strato sottilissimo di metallo su un campione non conduttore o scarsamente conduttore.
Ciò impedisce la carica e migliora l'emissione di elettroni secondari.
Di conseguenza, migliora il rapporto segnale/rumore e la chiarezza delle immagini SEM.
La dimensione dei grani del materiale di rivestimento influisce in modo significativo su queste proprietà.
I grani più piccoli generalmente portano a prestazioni migliori nell'imaging ad alta risoluzione.
In sintesi, la dimensione dei grani dei rivestimenti sputter per applicazioni SEM varia in genere da 5 a 10 nm per l'oro e l'argento.
Sono disponibili opzioni per grani di dimensioni inferiori per metalli come oro-palladio, platino, cromo e iridio.
La scelta dipende dai requisiti specifici della risoluzione di imaging e dalle capacità del sistema di sputtering.
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