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La deposizione di un vapore si riferisce al processo di formazione di un film solido su una superficie a partire da materiali vaporizzati con mezzi chimici o fisici. Questo processo è fondamentale in diverse applicazioni industriali, in particolare nella formazione di film sottili per l'elettronica, l'ottica e i dispositivi medici.

Deposizione chimica da vapore (CVD):

1. Nella CVD, la deposizione di un film solido avviene attraverso una reazione chimica in fase di vapore. Il processo prevede in genere tre fasi principali:Evaporazione di un composto volatile:
2. La sostanza da depositare viene prima vaporizzata. Spesso si ottiene riscaldando un materiale precursore ad alta temperatura, facendolo evaporare in fase gassosa.Decomposizione termica o reazione chimica:
3. Il vapore subisce una decomposizione termica in atomi e molecole o reagisce con altri vapori o gas sulla superficie del substrato. Questa fase è cruciale perché dà inizio alla trasformazione chimica necessaria per la formazione del film.Deposizione di prodotti di reazione non volatili:

I prodotti della reazione chimica, ora allo stato solido, si depositano sul substrato, formando un film sottile. Questa deposizione è influenzata da fattori quali la temperatura e la pressione, tipicamente elevate nei processi CVD.Deposizione fisica da vapore (PVD):

1. La PVD comporta il trasferimento di materiale dallo stato solido allo stato di vapore e di nuovo allo stato solido su un substrato. Il processo comprende:
2. Vaporizzazione del materiale solido: Il materiale da depositare viene riscaldato fino a vaporizzarlo. Questo può essere ottenuto con vari metodi, come lo sputtering, l'evaporazione o il riscaldamento con fascio di elettroni.

Trasporto e deposizione:

Il materiale vaporizzato viene quindi trasportato attraverso un ambiente sotto vuoto o a bassa pressione e depositato sul substrato. Gli atomi o le molecole si condensano sul substrato, formando un film sottile. Lo spessore e le proprietà del film possono essere controllati regolando la durata della deposizione e l'energia delle particelle vaporizzate.