La pressione del gas di sputtering gioca un ruolo fondamentale nel determinare la qualità e la velocità di formazione del film durante il processo di sputtering.
Come la pressione del gas di sputtering influisce sulla qualità del film e sulla velocità di sputtering: 4 fattori chiave
1. Impatto sulla qualità del film
Pressione più bassa: Una pressione più bassa nella camera di sputtering può produrre un film altamente denso con una buona cristallinità.
Infatti, a pressioni più basse, gli atomi spruzzati hanno un percorso libero medio più lungo, che consente loro di viaggiare più a lungo prima di collidere con altri atomi.
Questo porta a una struttura del film più uniforme e densa, con una migliore cristallinità.
Pressione più alta: D'altra parte, una pressione più elevata può aumentare i tassi di deposizione.
Tuttavia, se la pressione diventa troppo elevata, può causare porosità nella microstruttura del film.
L'aumento della frequenza di collisione a pressioni più elevate può anche causare un'orientazione casuale del film, influenzando la cristallinità.
Pertanto, è importante trovare un intervallo di pressione ottimale per ottenere la qualità del film desiderata.
2. Impatto sulla velocità di sputtering
Pressione più bassa: Una pressione più bassa porta generalmente a tassi di sputtering più bassi.
A basse pressioni, infatti, la densità del gas di sputtering è più bassa, con conseguente diminuzione delle collisioni tra gli ioni del gas e il materiale bersaglio.
Di conseguenza, viene espulso un minor numero di atomi del bersaglio, con conseguente riduzione della velocità di sputtering.
Pressione più alta: Al contrario, una pressione più elevata può aumentare i tassi di deposizione.
La maggiore densità del gas di sputtering a pressioni più elevate porta a un maggior numero di collisioni con il materiale bersaglio, con conseguente aumento del tasso di sputtering.
Tuttavia, se la pressione diventa troppo alta, può causare l'avvelenamento del bersaglio, in cui il gas reattivo nella camera influisce negativamente sulla superficie del bersaglio.
Ciò può ridurre il tasso di crescita del film sottile e comprometterne la qualità.
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