L'evaporazione a fascio elettronico è una tecnica di deposizione fisica del vapore (PVD). Utilizza un fascio di elettroni focalizzato per riscaldare e vaporizzare il materiale di partenza in un ambiente sotto vuoto. Ciò consente la deposizione di rivestimenti sottili e di elevata purezza su un substrato.
Come funziona l'evaporazione a fascio elettronico? Spiegato in 4 semplici passi
1. Generazione del fascio di elettroni
Una corrente elettrica ad alta tensione (5-10 kV) viene fatta passare attraverso un filamento di tungsteno. Questo lo riscalda ad alta temperatura e provoca l'emissione termoionica di elettroni.
2. Focalizzazione e puntamento del fascio
Gli elettroni emessi vengono focalizzati in un fascio unificato mediante campi magnetici. Vengono quindi indirizzati verso un crogiolo contenente il materiale da evaporare.
3. Evaporazione del materiale
Il fascio di elettroni ad alta energia trasferisce la sua energia al materiale nel crogiolo. Questo provoca l'evaporazione o la sublimazione del materiale.
4. Deposizione sul substrato
Il materiale evaporato viaggia attraverso la camera a vuoto. Si deposita su un substrato posizionato sopra il materiale di partenza, formando un rivestimento sottile e di elevata purezza.
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