I materiali per evaporazione sono sostanze che possono essere riscaldate ad alta temperatura fino a vaporizzare, formando pellicole sottili o rivestimenti sulle superfici. Questi materiali comprendono metalli come l'oro, l'argento, il titanio, il tungsteno e il rame, e non metalli come il biossido di silicio. Il processo di evaporazione avviene quando gli atomi o le molecole di questi materiali ottengono un'energia sufficiente per superare le forze di legame all'interno dello stato solido o liquido e passare alla fase gassosa. Questo avviene in genere quando il materiale viene riscaldato fino o oltre il suo punto di fusione, aumentando la sua pressione di vapore.
In un ambiente sotto vuoto, il materiale vaporizzato viaggia direttamente verso la superficie di un substrato, dove si condensa e forma un film sottile. Questo processo è facilitato da vari tipi di sorgenti, come barche di evaporazione, celle di effusione e crogioli, progettati per riscaldare e vaporizzare efficacemente i materiali.
Inoltre, anche i solventi con punti di ebollizione elevati, come acqua, dimetilformammide (DMF) e dimetilsolfossido (DMSO), possono essere evaporati in condizioni di pressione ridotta. Per questi solventi vengono spesso impiegate tecniche moderne come l'evaporazione rotativa o l'evaporazione centrifuga, soprattutto in scenari che richiedono sintesi ad alto rendimento.
La scelta dei materiali e dei metodi di evaporazione dipende dai requisiti specifici dell'applicazione, comprese le proprietà desiderate del film sottile e le condizioni all'interno della camera di deposizione.
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