Lo sputtering è un processo fisico utilizzato in chimica e nella scienza dei materiali per depositare film sottili su un substrato. Comporta l'espulsione di atomi da un materiale solido bersaglio grazie al bombardamento di ioni energetici, in genere in un ambiente sotto vuoto. Questi atomi espulsi viaggiano e aderiscono a un substrato, formando un film sottile con proprietà specifiche.
Spiegazione dettagliata:
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Ambiente di vuoto e formazione del plasma:
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Lo sputtering avviene in una camera a vuoto dove viene introdotto un gas controllato, solitamente argon. Il gas viene ionizzato da una scarica elettrica, creando un plasma. In questo plasma, gli atomi di argon perdono elettroni e diventano ioni con carica positiva.Bombardamento ionico del bersaglio:
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Gli ioni di argon caricati positivamente vengono accelerati verso un catodo (il bersaglio) da un campo elettrico. Il bersaglio è costituito dal materiale che si intende depositare sul substrato. Quando questi ioni energetici si scontrano con il bersaglio, trasferiscono la loro energia cinetica agli atomi del bersaglio, causando l'espulsione di alcuni di essi dalla superficie del bersaglio.
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Espulsione e deposito degli atomi del bersaglio:
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Gli atomi espulsi, noti come adatomi, formano un flusso di vapore che attraversa la camera a vuoto. Questi atomi colpiscono quindi il substrato, aderendo alla sua superficie e formando un film sottile. Il processo è preciso e consente di creare film con proprietà specifiche come la riflettività, la conducibilità elettrica o la resistenza.Caratteristiche del film depositato:
Il processo di sputtering produce un film uniforme, estremamente sottile e con un forte legame con il substrato. Questo perché la deposizione avviene a livello atomico, garantendo un legame praticamente indissolubile tra il film e il substrato.
