Lo sputtering è un processo di deposizione di film sottili in cui gli atomi vengono espulsi da un materiale bersaglio grazie al bombardamento di particelle ad alta energia e quindi depositati su un substrato. Questo processo è ampiamente utilizzato in settori quali i semiconduttori, le unità disco, i CD e i dispositivi ottici.
Spiegazione dettagliata:
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Meccanismo dello sputtering:
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Lo sputtering prevede l'uso di un plasma di particelle o ioni ad alta energia che colpiscono la superficie di un bersaglio solido. Questo bombardamento provoca l'espulsione di atomi dal bersaglio. Gli atomi espulsi viaggiano quindi attraverso il vuoto e si depositano su un substrato, formando un film sottile. Questo processo è un tipo di deposizione fisica da vapore (PVD), il che significa che la deposizione avviene per via fisica anziché chimica.Sviluppo storico:
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Il fenomeno dello sputtering è stato osservato per la prima volta nel XIX secolo da scienziati come Grove e Faraday. Tuttavia, è stato solo a metà del XX secolo che lo sputtering è diventato un processo industriale significativo, in particolare con lo sviluppo di tecnologie come le piastre per rasoi sputate al cromo negli anni Sessanta. La comprensione teorica e le applicazioni pratiche dello sputtering si sono evolute in modo significativo dalla sua scoperta, con progressi nella tecnologia del vuoto e nella fisica del plasma.
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Tipi di sputtering:
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Esistono diverse varianti del processo di sputtering, tra cui lo sputtering catodico, lo sputtering a diodi, lo sputtering a radiofrequenza o a corrente continua, lo sputtering a fascio ionico e lo sputtering reattivo. Nonostante i nomi diversi e le tecniche specifiche, tutti questi metodi prevedono fondamentalmente l'espulsione di atomi da un materiale bersaglio mediante bombardamento ionico.Applicazioni:
Lo sputtering è fondamentale nella produzione di film sottili con proprietà precise, come quelli necessari nei semiconduttori, nei dispositivi ottici e nei rivestimenti di precisione. I film prodotti per sputtering sono noti per la loro eccellente uniformità, densità e adesione, che li rende adatti a un'ampia gamma di applicazioni in cui queste caratteristiche sono essenziali.
