Lo sputtering in corrente continua è una tecnica di deposizione fisica da vapore (PVD) utilizzata per depositare film sottili di materiali su un substrato. Il processo prevede la creazione di un vuoto all'interno di una camera, l'introduzione di un gas come l'argon e l'applicazione di una tensione di corrente continua (DC) a un materiale target. Questa tensione ionizza il gas, formando un plasma che bombarda il bersaglio con ioni. L'impatto di questi ioni fa sì che gli atomi del bersaglio vengano espulsi, o "sputati", nel plasma. Questi atomi attraversano il vuoto e si depositano sul substrato, formando un film sottile.
Creare il vuoto:
La prima fase dello sputtering in corrente continua consiste nel creare il vuoto all'interno della camera di processo. Questa operazione è fondamentale per diversi motivi. In primo luogo, estende il percorso libero medio delle particelle, ovvero la distanza media percorsa da una particella prima di scontrarsi con un'altra. In un ambiente a bassa pressione, le particelle possono percorrere distanze maggiori senza collisioni, consentendo una deposizione più uniforme e omogenea del materiale target sul substrato.Formazione del plasma:
Una volta stabilito il vuoto, nella camera viene introdotto un gas, in genere argon. Viene quindi applicata una tensione continua tra il target (catodo) e il substrato o le pareti della camera (anodo). Questa tensione ionizza il gas argon, creando un plasma composto da ioni argon ed elettroni.
Bombardamento e sputtering:
Gli ioni di argon nel plasma sono accelerati verso il bersaglio carico negativamente dal campo elettrico. Quando questi ioni entrano in collisione con il bersaglio, trasferiscono la loro energia cinetica agli atomi del bersaglio, causando l'espulsione di alcuni di essi dalla superficie. Questo processo è noto come sputtering.Deposizione su substrato:
Gli atomi sputati attraversano il vuoto e si depositano sul substrato. Poiché il percorso libero medio è lungo a causa del vuoto, gli atomi possono viaggiare direttamente dal bersaglio al substrato senza una significativa dispersione, ottenendo un film sottile uniforme e di alta qualità.
