Quando si tratta di creare film sottili, due metodi comuni sono l'evaporazione termica e l'evaporazione a fascio elettronico.
5 punti chiave da considerare nella scelta tra evaporazione termica e a fascio elettronico
1. Metodo di vaporizzazione
Nell'evaporazione termica, il materiale viene vaporizzato utilizzando il calore.
Un crogiolo contenente il materiale viene riscaldato a una temperatura elevata, provocando la vaporizzazione del materiale.
2. Idoneità dei materiali
L'evaporazione termica è adatta ai metalli e ai materiali non metallici che richiedono una temperatura di fusione inferiore.
3. Qualità dei film sottili
L'evaporazione termica può produrre film sottili con buona purezza e adesione al substrato.
Tuttavia, può dare luogo a rivestimenti meno densi e a un maggior rischio di impurità a causa del riscaldamento del crogiolo.
4. Processo di evaporazione a fascio elettronico
L'evaporazione a fascio elettronico è un processo fisico di deposizione di vapore che utilizza un fascio di elettroni ad alta energia per vaporizzare il materiale.
Il materiale vaporizzato si condensa poi su un substrato per formare un film sottile.
5. Vantaggi dell'evaporazione a fascio elettronico
L'evaporazione a fascio elettronico può trattare materiali a temperatura più elevata, come gli ossidi.
Può produrre film con elevata purezza e buona adesione al substrato.
Inoltre, presenta un tasso di deposizione più elevato rispetto all'evaporazione termica.
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