L'evaporazione termica sotto vuoto è un processo di deposizione utilizzato per la formazione e la crescita di film sottili su materiali solidi. Questa tecnica è ampiamente applicata sia in laboratorio che in ambito industriale grazie alla sua semplicità ed efficacia.
Panoramica del processo:
Il processo inizia sottoponendo il materiale target a temperature molto elevate, che lo fanno sublimare o bollire e formare vapore. Questo vapore viene poi trasportato su un substrato attraverso un ambiente sotto vuoto. Una volta raggiunto il substrato, il vapore si condensa per formare un film sottile solido. Questo ciclo di deposizione può essere ripetuto per aumentare la crescita e la nucleazione del film sottile.Metodi di rivestimento sotto vuoto per evaporazione termica:
- L'evaporazione termica può essere ottenuta con due metodi principali:
- Riscaldamento elettrico: Il materiale viene riscaldato elettricamente con fili o in crogioli conduttivi fatti di materiali con punti di fusione più elevati. Questo metodo è adatto a materiali che richiedono una notevole pressione di vapore ad alte temperature.
Evaporatori a forma di barca: Sono utilizzati specificamente per l'evaporazione degli ossidi. La forma a barca facilita il processo di riscaldamento e vaporizzazione.
Sistemi a vuoto per l'evaporazione termica:
Il sistema di vuoto gioca un ruolo cruciale nella qualità del film sottile prodotto. La pressione di base richiesta nel dispositivo di rivestimento varia da 10^-7 a 10^-5 mbar. I sistemi moderni utilizzano in genere pompe turbomolecolari, in grado di evacuare la camera alla pressione di base richiesta entro un'ora. Queste pompe sono spesso affiancate da pompe rotative a palette o da altri tipi di pompe a secco. Sopra l'evaporatore viene utilizzato anche un otturatore per controllare il processo di deposizione e garantire la riproducibilità degli strati.Applicazioni e materiali:
