L'evaporazione termica è un metodo utilizzato per depositare film sottili, ma presenta diversi inconvenienti che possono influire sulla qualità e sull'efficienza del processo.
Quali sono i 6 inconvenienti dell'evaporazione termica?
1. Degradazione della qualità dei materiali sensibili
L'evaporazione termica può degradare i materiali sensibili. Si tratta di sostanze organiche, vitamine, agenti aromatizzanti e intermedi farmaceutici. Questi materiali possono rompersi o reagire a temperature relativamente basse, con un impatto negativo sul prodotto finale.
2. Impurità nei film sottili
L'evaporazione termica, in particolare l'evaporazione termica resistiva, può produrre film sottili con livelli di impurità più elevati. Questo perché il crogiolo, che contiene il materiale, viene riscaldato e può contaminare il film.
3. Rivestimenti a film sottile meno densi
L'evaporazione termica spesso produce rivestimenti in film sottile meno densi rispetto all'evaporazione a fascio elettronico. Ciò è dovuto alla minore energia delle particelle evaporate, che porta a un impacchettamento e a un legame meno efficiente nei film depositati.
4. Limitato ai materiali a basso punto di fusione
L'evaporazione termica funziona meglio con i materiali a basso punto di fusione. Ha difficoltà con i materiali a temperatura più elevata, come gli ossidi, che vengono gestiti meglio dall'evaporazione a fascio elettronico.
5. Tassi di deposizione più bassi
L'evaporazione termica ha generalmente tassi di deposizione inferiori rispetto all'evaporazione a fascio elettronico. Questo può rallentare il processo, soprattutto nelle applicazioni industriali in cui è necessario produrre grandi volumi.
6. Stress termico
Il processo comporta un notevole stress termico sui materiali da evaporare. Questo può causare cambiamenti strutturali o danni, in particolare nei materiali sensibili. Anche se questo stress può essere ridotto regolando la pressione e utilizzando design speciali, queste soluzioni aggiungono complessità e costi.
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