Lo sputtering è una tecnica di deposizione fisica da vapore (PVD) utilizzata per creare film sottili espellendo materiale da un bersaglio, o sorgente, che poi si deposita su un substrato. Il processo prevede diverse fasi chiave, tra cui l'aspirazione della camera di deposizione, l'introduzione di un gas di sputtering, la generazione di un plasma, la ionizzazione degli atomi del gas, l'accelerazione degli ioni verso il bersaglio e, infine, il deposito del materiale spruzzato sul substrato.
Fasi dettagliate dello sputtering:
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Aspirazione della camera di deposizione:
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Il processo inizia con l'evacuazione della camera di deposizione a una pressione molto bassa, in genere intorno a 10^-6 torr. Questa fase è fondamentale per eliminare eventuali contaminanti e ridurre la pressione parziale dei gas di fondo, garantendo un ambiente pulito per il processo di deposizione.Introduzione del gas di sputtering:
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Dopo aver raggiunto il vuoto desiderato, si introduce nella camera un gas inerte come l'argon o lo xenon. La scelta del gas dipende dai requisiti specifici del processo di sputtering e dal materiale da depositare.
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Generazione del plasma:
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Viene quindi applicata una tensione tra due elettrodi nella camera per generare una scarica a bagliore, che è un tipo di plasma. Questo plasma è essenziale per la ionizzazione del gas di sputtering.Ionizzazione degli atomi di gas:
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All'interno del plasma generato, gli elettroni liberi si scontrano con gli atomi del gas di sputtering, facendoli perdere elettroni e trasformandoli in ioni con carica positiva. Questo processo di ionizzazione è fondamentale per la successiva accelerazione degli ioni.
Accelerazione degli ioni verso il bersaglio:
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Grazie alla tensione applicata, questi ioni positivi vengono accelerati verso il catodo (l'elettrodo con carica negativa), che è il materiale target. L'energia cinetica degli ioni è sufficiente a dislocare atomi o molecole dal materiale bersaglio.
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Deposizione del materiale spruzzato:
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Il materiale scisso dal bersaglio forma un flusso di vapore che attraversa la camera e si deposita sul substrato, formando un film sottile o un rivestimento. Il processo di deposizione continua fino al raggiungimento dello spessore o della copertura desiderata.Considerazioni aggiuntive:
Preparazione pre-sterilizzazione:
