Lo sputtering è una tecnica versatile utilizzata in varie applicazioni, ma presenta diversi svantaggi che devono essere attentamente considerati.
6 svantaggi principali dello sputtering che è necessario conoscere
Difficoltà di combinazione con il Lift-Off
Lo sputtering comporta un trasporto diffuso, il che rende difficile ombreggiare completamente le aree.
Questo può portare a potenziali problemi di contaminazione.
Gli atomi sputati non possono essere completamente limitati nella loro deposizione.
Ciò può comportare una deposizione indesiderata in aree non desiderate.
Le sfide del controllo attivo
Rispetto a tecniche come la deposizione laser pulsata, lo sputtering presenta dei limiti nel controllo attivo della crescita strato per strato.
Ciò è dovuto in parte alla difficoltà di gestire il processo di deposizione a livello granulare.
Ciò può influire sulla qualità e sulle proprietà dei film depositati.
Basse velocità di deposizione
Lo sputtering ha generalmente tassi di deposizione più bassi, soprattutto in tecniche come lo sputtering a fascio ionico e lo sputtering a radiofrequenza.
Questo può essere uno svantaggio significativo quando sono richiesti film di grande superficie con spessore uniforme.
Aumenta il tempo e il costo del processo di deposizione.
Costi elevati delle apparecchiature
Le apparecchiature utilizzate per lo sputtering, in particolare lo sputtering a fascio ionico e lo sputtering a radiofrequenza, possono essere complesse e costose.
Ciò include la necessità di costosi alimentatori, circuiti aggiuntivi di adattamento dell'impedenza e forti magneti permanenti per controllare i campi magnetici parassiti.
Le elevate spese di capitale associate all'installazione e alla manutenzione delle apparecchiature di sputtering possono costituire un ostacolo alla loro adozione.
Problemi di uniformità e contaminazione
Lo sputtering spesso incontra difficoltà nel depositare uniformemente su strutture complesse.
Può introdurre impurità nel substrato.
Il processo può anche attivare contaminanti gassosi nel plasma, con conseguente aumento della contaminazione del film.
Inoltre, l'energia incidente sul bersaglio si trasforma per lo più in calore, che deve essere gestito in modo efficace per evitare danni al sistema.
Inefficienza nell'uso dei materiali
I target di sputtering possono essere costosi e l'efficienza di utilizzo del materiale può essere scarsa.
Si tratta di un problema significativo, poiché ha un impatto diretto sul rapporto costo-efficacia del processo di sputtering.
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