Lo sputtering è in effetti un processo di deposizione, in particolare un tipo di deposizione fisica da vapore (PVD). Questo metodo prevede l'espulsione di materiale da una sorgente "bersaglio", che poi si deposita su un "substrato". Il processo è caratterizzato dall'espulsione fisica degli atomi superficiali dal bersaglio grazie al trasferimento di quantità di moto da parte di una particella energica che lo bombarda, in genere uno ione gassoso proveniente da un plasma o da un cannone ionico.
Spiegazione dettagliata:
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Meccanismo dello sputtering:
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Lo sputtering funziona utilizzando un plasma gassoso per staccare gli atomi dalla superficie di un materiale solido bersaglio. Il bersaglio è in genere una lastra del materiale destinato a essere rivestito su substrati. Il processo inizia con l'introduzione di un gas controllato, solitamente argon, in una camera a vuoto. L'energia elettrica viene quindi applicata a un catodo, creando un plasma autosufficiente. Gli ioni del plasma collidono con il bersaglio, provocando l'espulsione degli atomi grazie al trasferimento di quantità di moto.Deposizione su substrati:
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Gli atomi espulsi dal bersaglio attraversano il vuoto o l'ambiente gassoso a bassa pressione e si depositano sul substrato. Questa deposizione può avvenire in diverse condizioni di pressione: nel vuoto o in un gas a bassa pressione (<5 mTorr), le particelle sputate non subiscono collisioni in fase gassosa prima di raggiungere il substrato. In alternativa, a pressioni di gas più elevate (5-15 mTorr), le particelle energetiche possono essere termalizzate da collisioni in fase gassosa prima della deposizione.
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Caratteristiche dei film sputterati:
I film sputtered sono noti per la loro eccellente uniformità, densità, purezza e adesione. Questo metodo consente la produzione di leghe con una composizione precisa attraverso lo sputtering convenzionale o la creazione di composti come ossidi e nitruri attraverso lo sputtering reattivo. L'energia cinetica degli atomi espulsi tramite sputtering è tipicamente superiore a quella dei materiali evaporati, migliorando la loro adesione al substrato.
Vantaggi dello sputtering:
