La temperatura dell'evaporazione termica varia tipicamente da 250 a 350 gradi Celsius. Questo intervallo di temperatura viene utilizzato per riscaldare i materiali di partenza in un sistema di evaporazione termica al fine di portarli dallo stato solido al vapore. È importante notare che la temperatura richiesta per l'evaporazione termica non corrisponde alla temperatura di evaporazione o sublimazione in condizioni ambientali. Il processo di evaporazione termica avviene in condizioni di vuoto, il che consente di ottenere temperature più basse per il rilascio del vapore dei materiali.
Materiali diversi hanno requisiti di temperatura diversi per l'evaporazione termica. Ad esempio, l'oro può essere vaporizzato a una temperatura di circa 950 gradi Celsius in condizioni di vuoto, anche se il suo punto di ebollizione in condizioni standard è molto più alto, 2700 gradi Celsius. Le temperature necessarie per i vari materiali sono riportate in tabelle ampiamente disponibili.
Va inoltre considerato che l'evaporazione termica non è adatta per l'evaporazione di tutti i materiali. Per alcuni materiali, in particolare per i metalli refrattari, può essere necessaria l'evaporazione a fascio di elettroni. L'evaporazione a fascio di elettroni prevede il riscaldamento del materiale di partenza in una camera ad alto vuoto con una pressione inferiore a 10-5 Torr. L'alto vuoto è necessario per ridurre al minimo le collisioni tra gli atomi della sorgente e i materiali di fondo. L'evaporazione termica opera tipicamente a temperature inferiori a 1800 gradi Celsius, mentre l'evaporazione a fascio di elettroni può gestire temperature più elevate, come 2000 gradi Celsius per l'evaporazione del platino.
In sintesi, l'evaporazione termica è un processo in cui i materiali vengono riscaldati in una camera a vuoto fino a quando gli atomi della loro superficie hanno abbastanza energia per lasciare la superficie e formare un vapore. L'intervallo di temperatura per l'evaporazione termica è in genere compreso tra 250 e 350 gradi Celsius, anche se i requisiti di temperatura specifici variano a seconda dei materiali.
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