La deposizione è un processo fisico in cui una sostanza forma uno strato su una superficie solida.
Questo processo modifica le proprietà della superficie del substrato in base all'applicazione prevista.
La deposizione può essere ottenuta con vari metodi, tra cui spruzzatura, spin coating, placcatura e tecniche di deposizione sotto vuoto.
Lo spessore dello strato depositato può variare da un singolo atomo (nanometro) a diversi millimetri.
Qual è il processo fisico di deposizione? 4 aspetti chiave spiegati
1. Metodi di deposizione
Le tecniche di deposizione comprendono la deposizione fisica da vapore (PVD), la deposizione chimica da vapore (CVD), la deposizione atomica da strato (ALD) e la deposizione a fascio ionico (IBD).
La PVD prevede il trasferimento fisico dei materiali nel vuoto e quindi sul substrato mediante calore o sputtering.
La CVD utilizza i gas per fornire i precursori per la crescita del film, e spesso richiede che il substrato sia a una temperatura elevata.
ALD e IBD sono metodi più specializzati che richiedono una precisione a livello atomico o ionico.
2. Applicazioni dei film sottili
I film sottili depositati hanno diverse applicazioni, come rivestimenti protettivi, rivestimenti ottici, rivestimenti decorativi, rivestimenti a funzionamento elettrico, biosensori, dispositivi plasmonici, celle fotovoltaiche a film sottile e batterie a film sottile.
Ogni applicazione richiede caratteristiche specifiche del film, che influenzano la scelta del metodo di deposizione e dei parametri.
3. Fattori che influenzano la deposizione
I fattori chiave includono la velocità di deposizione, l'uniformità, la flessibilità del sistema, la copertura del gradino, le caratteristiche del film, la temperatura del processo, la robustezza del processo e il potenziale danno al substrato.
Ogni fattore svolge un ruolo cruciale nel determinare la qualità e l'idoneità del film depositato per l'uso previsto.
Ad esempio, la velocità di deposizione influisce sulla velocità e sulla precisione della crescita del film, mentre l'uniformità garantisce proprietà coerenti del film sul substrato.
4. Deposizione chimica da vapore (CVD)
Un tipo specifico di deposizione in cui un film solido viene depositato su una superficie riscaldata grazie a una reazione chimica in fase di vapore.
Questo metodo prevede in genere tre fasi: evaporazione di un composto volatile, decomposizione termica o reazione chimica del vapore e deposizione dei prodotti di reazione non volatili sul substrato.
La CVD richiede condizioni specifiche, come temperature e pressioni elevate.
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