Lo sputtering DC, noto anche come sputtering a corrente continua, è una tecnica di rivestimento a film sottile a deposizione fisica di vapore (PVD). In questa tecnica, un materiale bersaglio che verrà utilizzato come rivestimento viene bombardato con molecole di gas ionizzate, facendo sì che gli atomi vengano "sputati" nel plasma. Questi atomi vaporizzati si condensano e si depositano come un film sottile sul substrato da rivestire.
Uno dei principali vantaggi dello sputtering in corrente continua è che è facile da controllare e rappresenta un'opzione a basso costo per la deposizione di metalli per il rivestimento. È comunemente utilizzato per la deposizione di metalli PVD e per materiali di rivestimento elettricamente conduttivi. Lo sputtering in corrente continua è ampiamente utilizzato nell'industria dei semiconduttori per creare circuiti di microchip a livello molecolare. Viene utilizzato anche per i rivestimenti in oro su gioielli, orologi e altre finiture decorative, nonché per i rivestimenti non riflettenti su vetro e componenti ottici. Inoltre, viene utilizzato per la metallizzazione delle plastiche da imballaggio.
Lo sputtering in corrente continua si basa su una sorgente di corrente continua (DC) e la pressione della camera è tipicamente compresa tra 1 e 100 mTorr. Gli ioni con carica positiva vengono accelerati verso il materiale target e gli atomi espulsi si depositano sui substrati. Questa tecnica è comunemente utilizzata con materiali metallici puri, come il ferro (Fe), il rame (Cu) e il nichel (Ni), grazie alla sua elevata velocità di deposizione. Lo sputtering in corrente continua è facile da controllare e ha un basso costo di esercizio, il che lo rende adatto alla lavorazione di substrati di grandi dimensioni.
Tuttavia, è importante notare che lo sputtering in corrente continua di materiali dielettrici può causare il rivestimento delle pareti della camera da vuoto con un materiale non conduttore, che può intrappolare cariche elettriche. Questo può portare alla comparsa di piccoli e macro archi durante il processo di deposizione, con conseguente rimozione non uniforme degli atomi dal materiale target e potenziali danni all'alimentatore.
Nel complesso, lo sputtering in corrente continua è una tecnica ampiamente utilizzata e conveniente per la deposizione di film sottili in vari settori industriali.
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