La calibrazione del vuoto si riferisce al processo di verifica che gli strumenti utilizzati per misurare la pressione del vuoto forniscano misure accurate. Ciò avviene confrontando le misure prodotte dagli strumenti con quelle di uno standard o con le tolleranze consentite. Una calibrazione regolare è importante per garantire una precisione ripetibile nelle misure di pressione del vuoto.
Per determinare la precisione richiesta per lavorare con il vuoto, è necessario considerare l'applicazione specifica e i suoi requisiti di controllo del vuoto. Per alcune applicazioni, come i forni per l'essiccazione sottovuoto o la filtrazione, il controllo del vuoto può non essere assolutamente necessario. Per altre applicazioni, invece, il controllo del vuoto è necessario.
La calibrazione del vuoto coinvolge diversi componenti e sistemi. Questi includono un pannello di regolazione e controllo (che può includere un PLC di sicurezza e un software), un sistema di acqua di raffreddamento per soddisfare le esigenze di raffreddamento del forno e delle pompe, un sistema di alimentazione del gas con un sofisticato controllo della pressione e la misurazione della purezza del gas mediante misure del punto di rugiada.
Per quanto riguarda l'accuratezza delle misure, sono importanti la forma e le dimensioni di ogni pezzo prima dell'assemblaggio e delle camere a vuoto assemblate. Queste misure richiedono spesso un controllo tridimensionale con una precisione dell'ordine dei micrometri. In queste situazioni, gli strumenti manuali come i metri a nastro e i calibri possono non essere sufficienti, per cui vengono comunemente utilizzate le macchine di misura a coordinate (CMM) a ponte. Tuttavia, può essere impegnativo spostare camere a vuoto di grandi dimensioni in una sala di misura e posizionarle su una CMM. Può essere necessaria anche la misurazione in loco, che richiede competenze di misura di alto livello e più persone per le camere di grandi dimensioni.
Lavorare in condizioni di alto vuoto (HV), ultra alto vuoto (UHV) ed estremo alto vuoto (XHV) richiede un'attenta considerazione della progettazione del sistema e dei materiali utilizzati. La planarità delle facce terminali e delle superfici di tenuta delle aperture e dei giunti in una camera a vuoto deve essere misurata con precisione. Gli errori di planarità possono causare problemi come le perdite e compromettere la precisione operativa delle camere da vuoto. È importante eseguire ispezioni accurate, misurare la precisione della lavorazione durante il processo di produzione e confrontare le misure con i dati di progettazione CAD.
In generale, la calibrazione di un vuoto comporta la garanzia di misurazioni accurate della pressione del vuoto, la considerazione dei requisiti specifici di controllo del vuoto dell'applicazione e la misurazione accurata della forma e delle dimensioni delle camere del vuoto e dei loro componenti.
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