Il magnetron sputtering RF è un metodo utilizzato per creare film sottili, soprattutto su materiali non conduttivi. Utilizza la potenza della radiofrequenza (RF) per trasformare un materiale bersaglio in plasma in una camera a vuoto. Questo plasma forma poi un film sottile su un substrato.
3 fasi chiave spiegate
1. Installazione in una camera a vuoto
Il substrato viene posto all'interno di una camera a vuoto. L'aria all'interno della camera viene quindi rimossa. Il materiale target, che diventerà il film sottile, viene introdotto come gas in questo ambiente a bassa pressione.
2. Ionizzazione del materiale target
Viene applicato un campo elettrico RF che accelera gli ioni di argon. Questi ioni colpiscono il materiale bersaglio, provocando l'espulsione degli atomi. I magneti vengono utilizzati per controllare il percorso di questi atomi espulsi, migliorando il processo di ionizzazione. Il campo magnetico crea un "tunnel" che intrappola gli elettroni vicino alla superficie del bersaglio, aumentando l'efficienza della formazione degli ioni gassosi e mantenendo la scarica del plasma.
3. Deposizione di film sottili
Gli atomi espulsi dal materiale bersaglio viaggiano e si depositano sul substrato. Questa deposizione avviene non solo direttamente davanti al bersaglio, ma anche in aree esterne al plasma per evitare l'incisione da parte del plasma. La potenza della radiofrequenza fa sì che il materiale di destinazione non accumuli una carica significativa, poiché viene scaricato a ogni mezzo ciclo, impedendo l'accumulo di isolante che potrebbe bloccare il processo di deposizione. Questo meccanismo consente una deposizione continua, anche su substrati non conduttivi.
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