Per la pulizia di un dispositivo di rivestimento sputter, seguire i seguenti passaggi dettagliati:
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Pulizia della camera di lavoro:
- Pulizia della camera di vetro: Utilizzare acqua calda e sapone per pulire accuratamente la camera di vetro. Assicurarsi che sia completamente asciutta. In caso di depositi ostinati, è possibile utilizzare una paglietta da cucina. Evitare l'uso di solventi perché non sono necessari e comportano rischi per la salute e la sicurezza.
- Pulizia delle superfici metalliche: Pulire le superfici metalliche con alcool isopropilico. Evitare l'uso di acetone a causa dei rischi per la salute e la sicurezza e del tempo di degassamento più lungo, che può influire sulle prestazioni del vuoto.
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Manutenzione del vuoto:
- Prevenzione del risucchio: Isolare sempre la pompa di sgrossatura dalla torre di verniciatura quando la camera è sotto vuoto. In genere, ciò avviene tramite una valvola manuale. Ad esempio, i rivestimenti sputter ad alto vuoto Quorum sono dotati di una funzione di "pump hold" che mantiene il vuoto quando lo strumento non è in uso, evitando la contaminazione da parte dell'olio della pompa.
- Secchezza del sistema e livello di vuoto: Assicurarsi che il sistema sia asciutto e che raggiunga il livello di vuoto corretto prima di iniziare il processo di sputtering. Questo aiuta a raggiungere una buona velocità di sputtering e previene la contaminazione.
- Manutenzione della pompa: Le pompe rotative devono essere zavorrate regolarmente e sottoposte a manutenzione a intervalli regolari per mantenere prestazioni ottimali.
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Pulizia dello sputtering:
- Sputtering fisico: Utilizzare lo sputtering fisico sotto vuoto per pulire le superfici dei solidi dai contaminanti. Questo metodo è comunemente usato nella scienza delle superfici, nella deposizione sotto vuoto e nella placcatura ionica. Tuttavia, occorre prestare attenzione a potenziali problemi quali surriscaldamento, incorporazione di gas, danni alla superficie e irruvidimento. Assicurarsi che il plasma sia pulito per evitare la ricontaminazione durante la pulizia sputter.
Rispettando queste pratiche di pulizia e manutenzione, le prestazioni e la longevità del forno sputter possono essere notevolmente migliorate.
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