La pulizia di un forno sputter coater è fondamentale per mantenerne le prestazioni e la longevità.
Ecco una guida dettagliata per aiutarvi nel processo.
Come si pulisce un coater sputter? - 3 passi essenziali per mantenere l'apparecchiatura in ottima forma
1. Pulizia della camera di lavoro
Pulizia della camera di vetro: Utilizzare acqua calda e sapone per pulire accuratamente la camera di vetro.
Assicurarsi che sia completamente asciutta.
In caso di depositi ostinati, è possibile utilizzare una paglietta da cucina.
Evitare l'uso di solventi perché non sono necessari e comportano rischi per la salute e la sicurezza.
Pulizia delle superfici metalliche: Pulire le superfici metalliche con alcool isopropilico.
Evitare l'uso di acetone a causa dei rischi per la salute e la sicurezza e del tempo di degassamento più lungo, che può influire sulle prestazioni del vuoto.
2. Manutenzione del vuoto
Prevenzione del risucchio: Isolare sempre la pompa di sgrossatura dalla torre di verniciatura quando la camera è sotto vuoto.
In genere, ciò avviene tramite una valvola manuale.
Ad esempio, i rivestimenti sputter ad alto vuoto Quorum sono dotati di una funzione di "pump hold" che mantiene il vuoto quando lo strumento non è in uso, evitando la contaminazione da parte dell'olio della pompa.
Secchezza del sistema e livello di vuoto: Assicurarsi che il sistema sia asciutto e che raggiunga il livello di vuoto corretto prima di iniziare il processo di sputtering.
Questo aiuta a raggiungere una buona velocità di sputtering e previene la contaminazione.
Manutenzione della pompa: Le pompe rotative devono essere zavorrate regolarmente e sottoposte a manutenzione a intervalli regolari per mantenere prestazioni ottimali.
3. Pulizia dello sputtering
Sputtering fisico: Utilizzare lo sputtering fisico sotto vuoto per pulire le superfici dei solidi dai contaminanti.
Questo metodo è comunemente usato nella scienza delle superfici, nella deposizione sotto vuoto e nella placcatura ionica.
Tuttavia, occorre prestare attenzione a potenziali problemi quali surriscaldamento, incorporazione di gas, danni alla superficie e irruvidimento.
Assicurarsi che il plasma sia pulito per evitare la ricontaminazione durante la pulizia sputter.
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