Il magnetron sputtering è una tecnica di deposizione di film sottili che utilizza un campo magnetico per aumentare l'efficienza della generazione di plasma vicino alla superficie del bersaglio, facilitando così la deposizione di materiali su un substrato. Questo metodo è stato sviluppato negli anni '70 e si caratterizza per l'alta velocità, i bassi danni e le basse temperature.
Miglioramento della generazione di plasma:
L'innovazione chiave dello sputtering magnetronico è l'aggiunta di un campo magnetico chiuso sulla superficie del bersaglio. Questo campo magnetico intrappola gli elettroni vicino al bersaglio, facendoli spiraleggiare lungo le linee di flusso magnetico anziché essere immediatamente attratti dal substrato. Questo intrappolamento aumenta la probabilità di collisioni tra gli elettroni e gli atomi di argon (o di altri gas inerti utilizzati nel processo), che a loro volta incrementano la generazione di plasma. La maggiore densità di plasma in prossimità della superficie del bersaglio porta a uno sputtering più efficiente del materiale bersaglio.Meccanismo dello sputtering:
Nello sputtering magnetronico, gli ioni ad alta energia sono accelerati verso il materiale bersaglio da un campo elettrico. Questi ioni collidono con il bersaglio, trasferendo energia cinetica agli atomi del bersaglio. Se l'energia trasferita è sufficiente a superare l'energia di legame degli atomi del bersaglio, questi vengono espulsi dalla superficie in un processo noto come sputtering. Il materiale espulso si deposita quindi su un substrato vicino, formando un film sottile.
Vantaggi e applicazioni:
L'uso di un campo magnetico nel magnetron sputtering consente un processo di deposizione più controllato ed efficiente rispetto ai metodi di sputtering tradizionali. Questa efficienza si traduce in tassi di deposizione più elevati e in una migliore qualità del film. Le applicazioni dello sputtering magnetronico sono diverse e vanno dal rivestimento della microelettronica, all'alterazione delle proprietà dei materiali, all'aggiunta di pellicole decorative ai prodotti.
