La funzione di uno sputter coater è quella di applicare un rivestimento funzionale molto sottile su un substrato. Nel caso della microscopia elettronica a scansione (SEM), il rivestimento sputter viene utilizzato per preparare i campioni per l'analisi depositando un sottile strato di metallo, come oro o platino, sul campione. Questo processo contribuisce a migliorare la conduttività, a ridurre gli effetti di carica elettrica e a fornire una protezione strutturale contro il fascio di elettroni.
Il rivestimento sputter comporta la generazione di un plasma metallico che viene depositato sul campione in modo controllato. Il materiale bersaglio, legato o fissato al catodo, viene caricato elettricamente per formare un plasma che provoca l'espulsione del materiale dalla superficie del bersaglio. I magneti vengono utilizzati per garantire un'erosione stabile e uniforme del materiale. Il materiale target ad alta energia colpisce il substrato, formando un legame molto forte a livello atomico. Ciò significa che il materiale rivestito diventa una parte permanente del substrato, anziché un semplice rivestimento superficiale.
I vantaggi del rivestimento sputter includono una migliore conduttività, una riduzione degli effetti di carica e una maggiore emissione di elettroni secondari. Il plasma stabile creato durante il processo assicura una deposizione più uniforme, che si traduce in un rivestimento consistente e duraturo. Il rivestimento sputter è comunemente utilizzato in varie applicazioni come i pannelli solari, il vetro architettonico, la microelettronica, il settore aerospaziale, i display a schermo piatto e l'industria automobilistica.
In generale, la funzione di un rivestimento sputter è quella di fornire un film sottile elettricamente conduttivo rappresentativo del campione da visualizzare in microscopia elettronica a scansione. Questo film inibisce la carica, riduce i danni termici e migliora l'emissione di elettroni secondari.
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