La frequenza di MPCVD è di 2,45 GHz. Questa è la frequenza a cui opera il generatore di microonde del sistema MPCVD.
La radiazione a microonde viene utilizzata per generare il plasma nella camera a vuoto, creando un ambiente ideale per la deposizione del diamante.
Gli elettroni nel plasma assorbono l'energia della radiazione a microonde, raggiungendo temperature fino a 5273 K.
Le frequenze di microonde più comunemente utilizzate per questo metodo sono 2,45 GHz e 915 MHz.
Qual è la frequenza dell'MPCVD? (4 punti chiave spiegati)
1. Frequenza operativa dell'MPCVD
La frequenza di MPCVD è di 2,45 GHz. È la frequenza a cui opera il generatore di microonde del sistema MPCVD.
2. Generazione del plasma
La radiazione a microonde viene utilizzata per generare il plasma nella camera a vuoto, creando un ambiente ideale per la deposizione del diamante.
3. Temperatura degli elettroni
Gli elettroni nel plasma assorbono energia dalla radiazione a microonde, raggiungendo temperature fino a 5273 K.
4. Frequenze comuni delle microonde
Le frequenze a microonde più comunemente utilizzate per questo metodo sono 2,45 GHz e 915 MHz.
5. Vantaggi del metodo MPCVD
Il metodo MPCVD presenta diversi vantaggi rispetto ad altri metodi di sintesi del diamante.
Rispetto al metodo CVD DC-PJ, l'MPCVD consente una regolazione regolare e continua della potenza delle microonde e un controllo stabile della temperatura di reazione.
Ciò consente di evitare il problema della caduta dei semi di cristallo dal substrato a causa di archi elettrici e guasti alla fiamma.
Regolando la struttura della camera di reazione e controllando la potenza e la pressione delle microonde, è possibile ottenere un'ampia area di plasma di scarica stabile, necessaria per la produzione di diamanti monocristallini di alta qualità e di grandi dimensioni.
Pertanto, il metodo MPCVD è considerato il metodo di sintesi del diamante più promettente per le applicazioni industriali.
6. Altre applicazioni dell'MPCVD
Oltre ai suoi vantaggi nella sintesi del diamante, il metodo MPCVD è utilizzato anche in altre applicazioni, come la fabbricazione del grafene.
La frequenza di 2,45 GHz viene utilizzata nella progettazione di camere MPECVD per sistemi di produzione di celle a film sottile.
Il posizionamento delle fessure nella camera influisce sul modo di risonanza: le posizioni centrale e inferiore producono rispettivamente i modi TE111 e TM011 a 2,45 GHz.
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