La frequenza dell'Mpcvd è di 2,45 GHz. Questa è la frequenza a cui opera il generatore di microonde nel sistema MPCVD. La radiazione a microonde viene utilizzata per generare il plasma nella camera a vuoto, creando un ambiente ideale per la deposizione del diamante. Gli elettroni nel plasma assorbono l'energia della radiazione a microonde, raggiungendo temperature fino a 5273 K. Le frequenze a microonde più comunemente utilizzate per questo metodo sono 2,45 GHz e 915 MHz.
Il metodo MPCVD presenta diversi vantaggi rispetto ad altri metodi di sintesi del diamante. Rispetto al metodo CVD DC-PJ, l'MPCVD consente una regolazione regolare e continua della potenza delle microonde e un controllo stabile della temperatura di reazione. Ciò consente di evitare il problema della caduta dei semi di cristallo dal substrato a causa di archi elettrici e guasti alla fiamma. Regolando la struttura della camera di reazione e controllando la potenza e la pressione delle microonde, è possibile ottenere un'ampia area di plasma di scarica stabile, necessaria per la produzione di diamanti monocristallini di alta qualità e di grandi dimensioni. Pertanto, il metodo MPCVD è considerato il metodo di sintesi del diamante più promettente per le applicazioni industriali.
Oltre ai suoi vantaggi nella sintesi del diamante, il metodo MPCVD è utilizzato anche in altre applicazioni, come la fabbricazione del grafene. La frequenza di 2,45 GHz è utilizzata nella progettazione di camere MPECVD per sistemi di produzione di celle a film sottile. Il posizionamento delle fessure nella camera influisce sul modo di risonanza: le posizioni centrale e inferiore producono rispettivamente i modi TE111 e TM011 a 2,45 GHz.
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