Quando si tratta di vaporizzare materiali per la deposizione di film sottili, due metodi comuni sono l'evaporazione a fascio elettronico e l'evaporazione termica.
5 punti chiave da considerare
1. Metodo di riscaldamento
L'evaporazione termica utilizza una corrente elettrica per riscaldare un crogiolo. In questo modo il materiale all'interno del crogiolo si scioglie e poi evapora.
L'evaporazione a fascio elettronico, invece, utilizza un fascio di elettroni ad alta energia per riscaldare direttamente il materiale. Questo fascio proviene da un filamento di tungsteno carico.
2. Idoneità del materiale
L'evaporazione termica è ideale per i materiali con punti di fusione più bassi, come i metalli e alcuni non metalli.
L'evaporazione a fascio elettronico è in grado di gestire materiali con punti di fusione più elevati, compresi gli ossidi.
3. Purezza e densità
L'evaporazione a fascio elettronico produce generalmente film con purezza e densità superiori. Questo perché il materiale viene riscaldato direttamente, evitando la contaminazione del crogiolo.
L'evaporazione termica può produrre rivestimenti di film sottili meno densi e un rischio maggiore di impurità a causa del riscaldamento del crogiolo.
4. Velocità di deposizione
L'evaporazione a fascio elettronico ha in genere un tasso di deposizione più elevato rispetto all'evaporazione termica. Ciò significa che può depositare film sottili più rapidamente.
5. Ambiente di processo
L'evaporazione a fascio elettronico avviene in una camera ad alto vuoto. Ciò garantisce che gli atomi o le molecole in fase di vapore precipitino e formino un rivestimento in film sottile sul substrato.
Anche l'evaporazione termica avviene in un ambiente controllato, ma il processo è diverso grazie all'uso di un crogiolo.
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