Le sorgenti di evaporazione termica sono essenziali per il deposito di vari materiali.
Queste sorgenti comprendono principalmente barche, cestelli, filamenti e barre rivestite.
In genere sono realizzate con materiali come tungsteno, tantalio o molibdeno.
I metodi di riscaldamento di queste sorgenti sono l'evaporazione a filamento o l'evaporazione a fascio di elettroni (E-Beam).
5 tipi principali spiegati
1. Barche
Le barche sono un tipo comune di sorgente di evaporazione termica.
Sono disponibili in varie dimensioni.
Le barche più grandi richiedono in genere una potenza maggiore a parità di tasso di deposizione.
Tuttavia, possono gestire tassi di deposizione massimi più elevati.
2. Evaporazione a filamento
L'evaporazione dei filamenti prevede l'uso di un semplice elemento di riscaldamento elettrico.
Questo metodo è semplice e si basa sulla resistenza del filamento per generare calore.
3. Evaporazione a fascio elettronico
L'evaporazione a fascio elettronico utilizza un fascio di elettroni per riscaldare direttamente il materiale di partenza.
Questo metodo è particolarmente utile per i materiali refrattari o che richiedono temperature più elevate per evaporare.
4. Sistemi di evaporazione a film sottile
I sistemi di evaporazione a film sottile offrono vantaggi quali un'elevata velocità di deposizione.
Inoltre, consentono di controllare in tempo reale la velocità e lo spessore.
Un buon controllo direzionale del flusso di evaporante è vantaggioso per processi come il Lift Off, per ottenere rivestimenti a disegno diretto.
5. Materiali per l'evaporazione termica
I materiali per l'evaporazione termica comprendono varie sostanze come oro, argento, titanio, biossido di silicio, tungsteno e rame.
Questi materiali possono sublimare o evaporare a temperature prossime al loro punto di fusione, a seconda della loro pressione di vapore.
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