I diversi tipi di sputtering comprendono lo sputtering a diodi in corrente continua, lo sputtering a diodi in radiofrequenza, lo sputtering a diodi di magnetron e lo sputtering a fascio ionico.
1. Sputtering a diodo CC: Nello sputtering a diodo in corrente continua, un plasma a bassa pressione di gas argon viene acceso tra un bersaglio e un substrato utilizzando una tensione continua di 500-1000 V. Gli ioni positivi di argon precipitano gli atomi dal bersaglio, che poi migrano sul substrato e vi si condensano. Tuttavia, con questo processo si possono spruzzare solo conduttori elettrici e si ottengono basse velocità di sputtering.
2. Sputtering a diodi RF: Lo sputtering a diodi RF prevede l'uso di energia a radiofrequenza (RF) per generare un plasma tra il bersaglio e il substrato. La potenza RF viene utilizzata per ionizzare il gas argon e accelerare gli ioni verso il bersaglio, provocando lo sputtering. Questo metodo consente di raggiungere tassi di sputtering più elevati rispetto allo sputtering a diodi in corrente continua e può essere utilizzato sia per materiali conduttivi che isolanti.
3. Sputtering a diodo magnetronico: Lo sputtering a diodo magnetronico è una variante dello sputtering a diodo RF in cui viene applicato un campo magnetico vicino alla superficie del bersaglio. Il campo magnetico intrappola gli elettroni vicino al bersaglio, aumentando la densità del plasma e la velocità di sputtering. Questo metodo è comunemente usato per depositare film metallici con elevata adesione e densità.
4. Sputtering a fascio ionico: Lo sputtering a fascio ionico prevede l'uso di un fascio di ioni ad alta energia per spruzzare atomi dal materiale bersaglio. Il fascio di ioni viene generato ionizzando un gas come l'argon e accelerando gli ioni verso il bersaglio. Questo metodo consente un controllo preciso del processo di sputtering e viene spesso utilizzato per depositare film sottili di alta qualità con bassi livelli di contaminazione.
Ogni tipo di sputtering ha i propri vantaggi e limiti e la scelta del metodo dipende dai requisiti specifici dell'applicazione di rivestimento.
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