I componenti del MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition) comprendono il sistema di alimentazione della sorgente, il sistema di trasporto del gas e di controllo del flusso, la camera di reazione e il sistema di controllo della temperatura, il sistema di trattamento dei gas di coda e il sistema di allarme di sicurezza, nonché il sistema di funzionamento automatico e di controllo elettronico. Ogni componente svolge un ruolo cruciale nel funzionamento preciso e sicuro del processo MOCVD.
Sistema di alimentazione della sorgente:
Il sistema di alimentazione delle sorgenti in MOCVD è responsabile della fornitura dei precursori metallo-organici e dei gas reattivi necessari. I precursori sono in genere composti metallo-organici e i gas reattivi possono includere idrogeno, azoto o altri gas inerti. Il sistema assicura che questi materiali vengano consegnati alla camera di reazione in modo controllato, il che è fondamentale per la qualità e la riproducibilità della crescita del film sottile.Sistema di trasporto e controllo del flusso di gas:
Questo sistema è parte integrante della miscelazione dei precursori e dei gas reattivi all'ingresso della camera di reazione. Funziona in condizioni di flusso e pressione controllati per garantire la corretta distribuzione e concentrazione dei gas. La precisione del flusso di gas è essenziale per mantenere le reazioni chimiche desiderate durante il processo di deposizione.
Camera di reazione e sistema di controllo della temperatura:
La camera di reazione è il luogo in cui avviene l'effettiva deposizione dei materiali sul substrato. In genere si tratta di una camera di quarzo o di acciaio inossidabile a pareti fredde che funziona a pressione atmosferica o a bassa pressione. Il sistema di controllo della temperatura mantiene il substrato a una temperatura precisa, solitamente compresa tra 500 e 1200°C, fondamentale per le reazioni di decomposizione termica necessarie alla crescita del film.Trattamento dei gas di coda e sistema di allarme di protezione:
Data la natura infiammabile, esplosiva e tossica dei materiali di partenza utilizzati nella MOCVD, è necessario un robusto sistema di trattamento dei gas di coda per gestire e neutralizzare in modo sicuro questi gas dopo il loro utilizzo nella camera di reazione. Il sistema di allarme di sicurezza monitora il sistema alla ricerca di potenziali pericoli e avvisa gli operatori di eventuali problemi, garantendo la sicurezza del processo.
