L'evaporazione termica è un processo utilizzato nella deposizione fisica del vapore (PVD) in cui un materiale solido viene riscaldato fino al punto di evaporazione in un ambiente ad alto vuoto, trasformandosi in vapore. Questo vapore viaggia poi attraverso la camera a vuoto e si condensa su un substrato, formando un rivestimento in film sottile.
5 fasi chiave da comprendere
1. Riscaldamento del materiale
Il materiale solido viene riscaldato a una temperatura elevata, mediante riscaldamento Joule (evaporazione resistiva) o mediante un fascio focalizzato di elettroni ad alta energia (evaporazione a fascio elettronico). Il riscaldamento provoca l'evaporazione o la sublimazione del materiale, trasformandolo in vapore.
2. Trasporto del vapore
Il materiale vaporizzato, sotto l'influenza della sua pressione di vapore, viaggia attraverso la camera ad alto vuoto. L'ambiente sotto vuoto garantisce che il flusso di vapore non reagisca o si disperda contro altri atomi, mantenendo la sua integrità.
3. Deposizione sul substrato
Il vapore raggiunge il substrato e si condensa al contatto, formando un film sottile. Questo film può essere di vari materiali, a seconda del materiale di partenza utilizzato nel processo di evaporazione.
4. Meccanismi di riscaldamento
Nell'evaporazione resistiva, il materiale viene posto in una barca resistiva e riscaldato facendo passare una corrente elettrica attraverso di esso, provocandone il riscaldamento a causa della sua resistenza elettrica. Nell'evaporazione a fascio di elettroni, un fascio di elettroni ad alta energia viene diretto sul materiale, riscaldandolo direttamente e provocandone l'evaporazione.
5. Ambiente sotto vuoto
L'ambiente ad alto vuoto è fondamentale perché impedisce al vapore di interagire con le molecole d'aria, che potrebbero causare dispersioni o reazioni chimiche indesiderate. Ciò garantisce che il vapore viaggi in linea retta e si depositi uniformemente sul substrato.
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