La Physical Vapor Deposition (PVD) è una tecnica di deposizione sotto vuoto.
Consiste nel vaporizzare un materiale solido in un ambiente sotto vuoto.
Il materiale vaporizzato viene poi depositato come film sottile su un substrato.
Questo processo deposita fisicamente atomi, ioni o molecole di una specie di rivestimento su un substrato.
Il risultato è un film di elevata purezza ed efficienza.
La PVD è comunemente utilizzata per depositare film sottili di metalli, leghe e ceramiche.
Questi film hanno in genere spessori compresi tra 1 e 10 µm.
5 fasi chiave spiegate
1. Vaporizzazione del materiale
Il materiale da depositare viene convertito in vapore attraverso mezzi fisici.
In genere si utilizza elettricità ad alta potenza o un laser.
Questa fase è fondamentale perché determina la purezza e la composizione del materiale vaporizzato.
2. Trasporto del vapore
Il materiale vaporizzato viene quindi trasportato attraverso una regione di bassa pressione.
Si sposta dalla sorgente al substrato.
Questa fase assicura che il materiale venga depositato in modo uniforme e con una contaminazione minima.
3. Condensazione sul substrato
Il vapore subisce una condensazione sul substrato, formando un film sottile.
Questa fase comporta un controllo preciso della temperatura e della pressione.
Assicura la corretta formazione e aderenza del film al substrato.
4. Tipi di metodi PVD
I metodi PVD sono classificati in tre tipi principali.
Possono essere utilizzati per la deposizione diretta o per la deposizione reattiva.
La deposizione reattiva comporta una reazione chimica tra il materiale di rivestimento e i gas reattivi in fase di vapore/plasma.
I metodi PVD più comuni sono lo sputtering e l'evaporazione termica.
Lo sputtering comporta l'espulsione e il trasferimento degli atomi del materiale target sul substrato.
L'evaporazione termica prevede il riscaldamento del materiale fino al suo punto di ebollizione nel vuoto.
In questo modo il materiale evapora e si deposita sul substrato.
5. Vantaggi del PVD
Il PVD è favorito dalla capacità di produrre film con tolleranza alle alte temperature.
Offre inoltre una resistenza superiore all'ablazione e alla corrosione.
La PVD è considerata un processo ecologico.
Comporta metodi di deposizione non inquinanti.
Ciò rende la PVD un metodo preferibile per molte applicazioni.
È particolarmente importante nella produzione di semiconduttori.
La qualità e le proprietà dei film depositati sono fondamentali in queste applicazioni.
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