I bersagli sputtering sono materiali utilizzati nel processo di sputtering, una tecnica per depositare film sottili su substrati come wafer di semiconduttori, celle solari e componenti ottici. Questi bersagli sono in genere lastre solide di metalli puri, leghe o composti come ossidi e nitruri. L'applicazione principale degli obiettivi di sputtering è nell'industria dei semiconduttori, dove vengono utilizzati per formare strati conduttori e altri film sottili essenziali per la funzionalità dei dispositivi elettronici.
Spiegazione dettagliata:
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Composizione e tipi di bersagli sputtering:
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I bersagli sputtering possono essere realizzati con diversi materiali, tra cui metalli puri come il rame o l'alluminio, leghe come l'acciaio inossidabile e composti come il biossido di silicio o il nitruro di titanio. La scelta del materiale dipende dall'applicazione specifica e dalle proprietà richieste dal film sottile da depositare. Ad esempio, nei semiconduttori, i materiali ad alta conducibilità elettrica sono spesso utilizzati per formare strati conduttori.Processo di sputtering:
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Nel processo di sputtering, il materiale bersaglio viene bombardato con particelle ad alta energia (di solito ioni), causando l'espulsione degli atomi dal bersaglio e il loro deposito come film sottile su un substrato. Questo processo avviene a temperature relativamente basse, il che è vantaggioso per mantenere l'integrità di substrati sensibili alla temperatura come i wafer dei semiconduttori. Lo spessore del film depositato può variare da pochi angstrom a diversi micron e può essere un singolo strato o una struttura multistrato, a seconda dei requisiti dell'applicazione.
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Applicazioni nei semiconduttori:
Nell'industria dei semiconduttori, lo sputtering è fondamentale per depositare film sottili che svolgono varie funzioni, come la conducibilità elettrica, l'isolamento o la formazione di specifiche proprietà elettroniche. L'uniformità e la purezza dei film sputterati sono fondamentali per garantire le prestazioni e l'affidabilità dei dispositivi a semiconduttore. Pertanto, i target di sputtering utilizzati in questo settore devono soddisfare standard rigorosi di purezza chimica e uniformità metallurgica.
Considerazioni ambientali ed economiche:
